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J-GLOBAL ID：201502204558799301   整理番号：15A0811259

多ステップ位相シフト技術と二値干渉縞を用いた位相誤差からの三次元形状

3D shape from phase errors by using binary fringe with multi-step phase-shift technique

著者 (3件)： LIU Yuankun (Opto-Electronic Dep., Sichuan Univ., Chengdu 610064, CHN) ,  ZHANG Qican (Opto-Electronic Dep., Sichuan Univ., Chengdu 610064, CHN) ,  SU Xianyu (Opto-Electronic Dep., Sichuan Univ., Chengdu 610064, CHN)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 74  ページ： 22-27  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三次元形状測定法を示した。この方法は,一軸測定法で,既知の位相,変調またはコントラストを測定する代わりに,位相誤差を測定した。多ステップ位相シフト技術と二値干渉縞を用いて,一連の測定を行った。一方,それらの測定を四ステップ位相シフト測定に分けることで,低精度の位相を計算した。各画素では,高精度の位相から低精度の位相を除去することで,位相誤差を得た。これにより,各画素の重みづけ位相誤差を計算できた。一方,不適当なデフォーカス二値干渉縞に起因した位相誤差は,深さと特別な関係を示した。このために位相誤差を解析することで,全ての画素の三次元情報が得られた。深いホールなどの一軸測定に利用できる。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *形状測定 ,  *三次元測定 ,  位相特性 ,  測定誤差 ,  焦点合せ ,  コントラスト ,  位相シフト ,  *干渉縞 ,  *画像分析 ,  二値論理 ,  一軸 ,  位相測定 ,  光変調 ,  測定精度 ,  画素 ,  重みづけ ,  結像 ,  深さ分析
準シソーラス用語： デフォーカス ,  位相誤差 ,  干渉縞解析 ,  三次元形状測定

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 位相シフト ,  二値 ,  干渉縞 ,  位相誤差 ,  三次元形状