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J-GLOBAL ID：201502204574634983   整理番号：15A0837211

マイクロパターン化シリコン表面の摩擦挙動

Frictional behavior of micro-patterned silicon surface

著者 (4件)： LIU Xiaoyan (KTH Royal Inst. of Technol., School of Chemical Sci. and Engineering, Dep. of Chemistry, Div. of Surface and ...) ,  YUN Sang Ho (Sungkyunkwan Univ., Dep. of Chemistry & BK21 School of Chemistry Materials Sci., Suwon 440-746, KOR) ,  CLAESSON Per M. (KTH Royal Inst. of Technol., School of Chemical Sci. and Engineering, Dep. of Chemistry, Div. of Surface and ...) ,  CLAESSON Per M. (SP Technical Res. Inst. of Sweden, Chemistry, Materials and Surfaces, P.O. Box 5607, SE-114 86 Stockholm, SWE)
資料名： Journal of Colloid and Interface Science  (Journal of Colloid and Interface Science)
巻： 456  ページ： 76-84  発行年： 2015年10月15日 
JST資料番号： C0279A  ISSN： 0021-9797  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 30°の傾斜角をもつ壁との窪みから成る,マイクロパターン化シリコン表面を,フォトリソグラフィーおよび続くエッチングによって作製した。表面とAFMチップ間で作用する単一凹凸接触における摩擦力を空気中で測定した。小さなチップがチップ自身より著しく大きい粗さの特徴をもつ表面をなぞる,特定の状態に対して数種の一般の摩擦法則の確実性を評価した。本データと比較した法則は,摩擦力が負荷に比例することから出発する摩擦のAmontonの第一則,摩擦力が滑り速度に依存しないことから始まるAmontonの第三則および傾斜角と摩擦係数間の相関関係を与えるEulerの法則であった。ナノスケールの表面不均一性およびμmサイズの窪みは共に摩擦力に影響を及ぼし,多数の再現性のある変化が特定の走査線に沿って見出された。それにもかかわらず,Amontonの第一則は平均摩擦力を十分に説明した。Amontonの第三則およびEulerの法則は本システムにあまり適用できないことがわかった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 法則 ,  フォトリソグラフィー ,  *摩擦力 ,  トポグラフィー【形態】 ,  *表面性状 ,  走査電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  滑り速度 ,  付着力 ,  エッチング ,  摩擦係数 ,  毛管凝縮 ,  *ケイ素
準シソーラス用語： Amontonの摩擦法則 ,  Coulombの法則 ,  *シリコン ,  *マイクロパターン ,  表面トポグラフィー

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  界面化学一般  (CB12010J)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロパターン ,  シリコン ,  摩擦 ,  挙動