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J-GLOBAL ID：201502204657085124   整理番号：15A0828960

時間分解観測のための迅速な実験用X線反射計の開発

Development of a quick laboratory X-ray reflectometer for time-resolved observations

著者 (6件)： VOEGELI W. (Tokyo Gakugei Univ,, JPN) ,  KAMEZAWA C. (Tokyo Gakugei Univ,, JPN) ,  KAMEZAWA C. (KEK, JPN) ,  ARAKAWA E. (Tokyo Gakugei Univ,, JPN) ,  MATSUSHITA T. (KEK, JPN) ,  YANO Yohko F. (Kinki Univ., JPN)
資料名： Program/Abstracts of ISSS (CD-ROM)  (Program/Abstracts of ISSS (CD-ROM))
巻： 7th  ページ： ROMBUNNO.6PN-97  発行年： 2014年 
JST資料番号： L8395B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *反射率計 ,  *X線反射 ,  実験用器具 ,  時間分解能 ,  時間分解分光法 ,  反射率 ,  ウエハ【IC】 ,  *ケイ素 ,  迅速分析 ,  結晶方位 ,  X線反射率 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： Siウエハ

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 分解 ,  観測 ,  実験 ,  X線反射 ,  開発