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J-GLOBAL ID:201502204698273865   整理番号:15A1140694

OLEDのための超臨界CO2/H2O2流体で処理したITOアノードのエージング

Aging of ITO anodes treated by supercritical CO2/H2O2 fluids for OLEDs
著者 (4件):
資料名:
巻: 26  号: 11  ページ: 9139-9145  発行年: 2015年11月 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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超臨界CO2/H2O2(SCCO2/H2O2)流体で処理した酸化インジウムスズ(ITO)アノードのエージング挙動を調べた。SCCO2/H2O2処理ITOアノードのエージングに伴い,接触角と表面エネルギーを酸素プラズマ処理のITOアノードと比較した。SCCO2/H2O2前処理は48時間のエージング後,ITO表面に安定な極性成分をもたらした。酸素プラズマ処理したITOのエージングによる極性成分のエネルギー減少は,4000psi15分のSCCO2/H2O2流体で処理したITOの減少が1.1%であるのと比べて20%であった。X線光電子分光分析で,SCCO2/H2O2前処理したITO表面の酸素含有量が,酸素プラズマ処理のITO表面よりもかなり高いことが判明した。これはエージングでの汚染に対応する安定なバッファ層として機能する水酸基生成物の結果と考えられる。さらに,エージングしたITOアノードへのOLED性能の相関依存性も調べた。6時間と12時間のエージング処理したITOアノードで,SCCO2/H2O2前処理のOLEDは酸素プラズマ処理デバイスと比べて,I-V特性と輝度の低下が改善されている。得られた結果は,SCCO2/H2O2流体で処理したITOアノードは安定した表面化学を示し,OLED製品に使えることを示している。Copyright 2015 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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固体デバイス材料 

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