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J-GLOBAL ID：201502204937094889   整理番号：15A0970731

高フィルファクタ環状アレイ高周波圧電マイクロマシン超音波トランスデューサ

A High Fill-Factor Annular Array of High Frequency Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers

著者 (3件)： LU Yipeng (Univ. California at Davis, CA, USA) ,  HEIDARI Amir (Univ. California at Davis, CA, USA) ,  HORSLEY David A. (Univ. California at Davis, CA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 4  ページ： 904-913  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 血管内超音波イメージングのための流体中で18.6MHzで動作する直径1.2mmの1261圧電マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)高フィルファクタアレーを作った。1061トランスデューサ/mm²で,アレーは今日までで最も高いアレーの10~20倍の密度を示した。FEMと共振周波数,圧力感度,出力音圧と方向性を含む解析結果は測定結果と良く一致した。PMUTの薄いメンブレン(750nmAlN/800nmSiO₂)と小さい直径のために25μm PMUTは全方向性で,不規則圧力パターンの近接場が無い。PMUTを周波数と時間領域で調べると,測定結果は空気中で共振時2.5nm/Vの大きな変位応答並びに良い周波数整合と,流体浸漬時での18.6MHzの高い中心周波数と4.9MHzの広い帯域幅を示した。測定したPMUTパラメータに基づく位相アレーシミュレーションは,焦点が絞られた高出力圧力音響ビームを示している。

シソーラス用語： 窒化アルミニウム ,  *圧電気 ,  超音波 ,  変換器 ,  超音波変換器 ,  *マイクロマシニング ,  MEMS ,  超音波画像 ,  撮像特性 ,  有限要素法 ,  共振周波数 ,  応答 ,  フェイズドアレイ ,  シミュレーション ,  音圧
準シソーラス用語： AlN ,  FEM【有限要素法】 ,  トランスデューサ ,  *フィルファクタ ,  位相アレイ ,  超音波イメージング ,  *超音波トランスデューサ ,  変位応答

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (7件)： フィルファクタ ,  環状 ,  アレイ ,  高周波 ,  圧電 ,  マイクロマシン ,  超音波トランスデューサ