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J-GLOBAL ID：201502205179547490   整理番号：15A1270182

ガラス基板寸法が反りへ及ぼす影響に関する調査

Study of Influence on Warpage of Glass Sheet Dimensions

著者 (1件)： 大神聡司 (旭硝子)
資料名： 旭硝子研究報告  (Research Report of Asahi Glass Co., Ltd.)
巻： 65  ページ： 66-69  発行年： 2015年10月06日 
JST資料番号： F0002A  ISSN： 0004-4210  CODEN： AGKHAD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近代社会では様々な製品が精密化されているが,ガラス製品も例外ではない。特に電子部材用途の場合,ガラス基板の反り品質が重要で,用途に応じて様々な方法で評価される。その中でも一般的な平置きの反りについて,ガラス寸法拡大効果を調査した。材料力学を考慮した代数幾何的手法を適用したところ,実際のガラスの寸法拡大効果を定性的かつ定量的に説明できた。この結果,有限要素法等の数値シミュレーションに比べてはるかに少ない労力で,様々な条件の寸法拡大効果が計算できるようになり,現象理解による反り抑制方針や品質管理指針を立てられるようになった。(著者抄録)

シソーラス用語： *基板 ,  *電気装置部品 ,  長さ ,  *反り ,  代数幾何学 ,  誤差解析
準シソーラス用語： *ガラス基板 ,  寸法

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (1件)：

• 加藤正名ら,材料力学,p94(1988)

タイトルに関連する用語 (3件)： ガラス基板 ,  反り ,  調査