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J-GLOBAL ID：201502205199186583   整理番号：15A1037792

円形及び楕円形マイクロトーションミラーのスクイーズ膜空気減衰

The squeeze-film air damping of circular and elliptical micro-torsion mirrors

著者 (8件)： XIA Changfeng (Northwestern Polytechnical Univ., Key Lab. of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, 710072 ...) ,  XIA Changfeng (Northwestern Polytechnical Univ., Shaanxi Province Key Lab. of Micro and Nano Electro-Mechanical Systems, 710072 ...) ,  QIAO Dayong (Northwestern Polytechnical Univ., Key Lab. of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, 710072 ...) ,  QIAO Dayong (Northwestern Polytechnical Univ., Shaanxi Province Key Lab. of Micro and Nano Electro-Mechanical Systems, 710072 ...) ,  ZENG Qi (Northwestern Polytechnical Univ., Key Lab. of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, 710072 ...) ,  ZENG Qi (Northwestern Polytechnical Univ., Shaanxi Province Key Lab. of Micro and Nano Electro-Mechanical Systems, 710072 ...) ,  YUAN Weizheng (Northwestern Polytechnical Univ., Key Lab. of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, 710072 ...) ,  YUAN Weizheng (Northwestern Polytechnical Univ., Shaanxi Province Key Lab. of Micro and Nano Electro-Mechanical Systems, 710072 ...)
資料名： Microfluidics and Nanofluidics  (Microfluidics and Nanofluidics)
巻： 19  号： 3  ページ： 585-593  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： A1036A  ISSN： 1613-4982  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本文では,円形及び楕円形マイクロトーションミラーのスクイーズ膜空気減衰を計算する為の解析解を提案した。スクイーズ膜空気減衰トルクの表現式を導く為に,極座標と楕円座標それぞれにおいて固有関数展開法によって,ねじりミラーの空気挙動を支配する非線形Reynolds方程式を解いた。級数解を積分し,集計し,円形及び楕円形マイクロねじりミラーの減衰トルクを推論した。円形ミラーと楕円ミラーの定式を別個に推論した。そして,それらの結果は,楕円形ミラーの偏心が0の時に適合した。更に,定式の結果は,数値シミュレーションと一致した。それらの両方は,共に,本文での減衰トルク定式を検証した。Copyright 2015 Springer-Verlag Berlin Heidelberg. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *反射鏡 ,  スクイーズ膜 ,  *減衰 ,  楕円形 ,  円形 ,  固有関数 ,  トルク ,  シミュレーション ,  数値解析 ,  *ねじり変形 ,  MEMS ,  解析的解法
準シソーラス用語： マイクロミラー ,  Reynolds方程式 ,  *トーションミラー

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 円形 ,  楕円形 ,  スクイーズ膜 ,  減衰