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J-GLOBAL ID：201502205241256244   整理番号：15A0953211

電気化学インピーダンス分光法による水分透過障壁層のナノ多孔率の解析

Analysis of Nanoporosity in Moisture Permeation Barrier Layers by Electrochemical Impedance Spectroscopy

著者 (7件)： PERROTTA Alberto (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  PERROTTA Alberto (Dutch Polymer Inst. (DPI), Eindhoven, NLD) ,  GARCIA Santiago J. (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  MICHELS Jasper J. (Max Planck Inst. for Polymer Res. (MPIP), Mainz, DEU) ,  ANDRINGA Anne-Marije (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  CREATORE Mariadriana (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  CREATORE Mariadriana (Solar Res. SOLLIANCE, Eindhoven, NLD)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 7  号： 29  ページ： 15968-15977  発行年： 2015年07月29日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無機透湿障壁中の水の浸透は巨視的欠陥/ピンホールおよびナノ細孔を介して行われ,両者の浸透経路はカルシウム試験,すなわち,バリア層を介した水蒸気透過率(WVTR)の決定に時間のかかる,高価な光学的方法によって同定することができる。最近我々は,ナノ多孔性を分類して定量化し,それをWVTR値と相関させる有効な方法として,偏光解析ポロシメトリー(すなわち,分光学的エリプソメトリーと等温吸着試験の組み合わせ)法を示した。しかしこの方法では,バリア層の品質を評価する上で本質的な,巨視的欠陥あるいは障壁を介した水の透過の運動に関して,何の情報も得られない。本研究では,電気化学的インピーダンス分光法(EIS)が,EPおよびカルシウム試験により得られる障壁特性評価を補完する,ナノ細孔と巨視的欠陥,水の浸透,およびバリア層内の水の拡散率に関する情報を取得するための,高感度かつ多目的な方法であることを示した。プラズマ増強CVDによって堆積した薄いSiO₂バリア層について,EISを実施した。その結果,SiO₂層内の相対的な水の捕獲の決定が可能になり,EPによって推測されるナノ多孔の含有量と一致することがわかった。また,水浸透の運動をEISによって追随し,拡散係数(D)を決定し,それが文献値と一致することが判明した。さらに,EPと異なり,EISデータは局所的な巨視的欠陥の存在に敏感であり,カルシウム試験における障壁の障害と相関のあることを示した。

シソーラス用語： *空隙率 ,  障壁 ,  *水分 ,  *スペクトロスコピー ,  偏光解析法 ,  吸着等温式 ,  プラズマCVD ,  二酸化ケイ素 ,  *層 ,  拡散係数 ,  試験
準シソーラス用語： *ナノ多孔率 ,  透過障壁 ,  *電気化学インピーダンス分光法 ,  偏光解析ポロシメトリー ,  等温吸着 ,  カルシウム試験 ,  *バリア層

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電気化学的分極  (CB07030J) ,  固体中の拡散一般  (BL06021L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電気化学インピーダンス分光法 ,  水分 ,  透過 ,  障壁層 ,  多孔率 ,  解析