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J-GLOBAL ID：201502205249526232   整理番号：15A1066714

バイトダイヤモンド回転旋削とそれに続く化学研磨で作った光学系の微視的表面の特徴の定量化

Quantification of Microscopic Surface Features of Single Point Diamond Turned Optics with Subsequent Chemical Polishing

著者 (7件)： CARDENAS Nelson (Fresnel Technol., Inc., TX, USA) ,  KYRISH Matthew (Fresnel Technol., Inc., TX, USA) ,  TAYLOR Daniel (Fresnel Technol., Inc., TX, USA) ,  FRAELICH Margaret (Fresnel Technol., Inc., TX, USA) ,  LECHUGA Oscar (Fresnel Technol., Inc., TX, USA) ,  CLAYTOR Richard (Fresnel Technol., Inc., TX, USA) ,  CLAYTOR Nelson (Fresnel Technol., Inc., TX, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9374  ページ： 93741I.1-93741I.8  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機械研磨に続く化学研磨による平滑化の際に前者が付ける微細構造は,幅も深さも乱雑であるために後者のパラメータの決定は経験的になりがちである。この研究では軌跡の幅や深さと速度の他に種々のデータをその場で入手できるバイトダイヤモンド旋削子で研磨を実施した。特に空間周期性とそれに続く化学研磨を関連付けた。

シソーラス用語： *化学研磨 ,  *光学系 ,  *表面 ,  *旋削 ,  *バイト
準シソーラス用語： *ダイヤモンドターニング ,  *機械研磨 ,  定量化

分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (6件)： バイト ,  ダイヤモンド ,  旋削 ,  化学研磨 ,  光学系 ,  定量化