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J-GLOBAL ID：201502205275426823   整理番号：15A1245085

フェムト秒レーザ照射による水中浸漬多孔性ガラス中のナノグレーティング生成

Formation of nanogratings in a porous glass immersed in water by femtosecond laser irradiation

著者 (7件)： LIAO Yang (Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN) ,  NI Jielei (Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN) ,  QIAO Lingling (Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN) ,  HUANG Min (Sun Yat-sen Univ., Guangzhou, CHN) ,  BELLOUARD Yves (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  SUGIOKA Koji (RIKEN, Saitama, JPN) ,  CHENG Ya (Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9350  ページ： 93500G.1-93500G.9  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘電材料への超短(アト秒)レーザパルス照射は,ナノボイドと周期的ナノグレーティング生成,元素組成再分布,非相互書込みおよび新しい物質相の生成のような魅力的な現象をもたらす。本論文において,著者らは多孔性ガラスへのレーザ照射によるナノグレーティング生成を研究した。相分離アルカリホウケイ酸塩ガラスから作製した高シリカ多孔性ガラスを基板とし,Ti:サファイアレーザによりナノグレーティング構造を作製した。装置の詳細を述べた。フェムト秒レーザの照射によるガラス内部の蓄積修飾とレーザ影響領域における入射レーザビームの段階的成形過程でのナノグレーティング生成を示した。界面で励起された表面プラズマ波がナノグレーティングを誘起させることが分った。これは他の種々の透明媒体中のナノ構造生成機構のヒントになると思われる。

シソーラス用語： 母材 ,  *多孔性 ,  *石英ガラス ,  ホウケイ酸ガラス ,  相分離 ,  *レーザパルス ,  *レーザ照射 ,  *水中 ,  *微細加工 ,  *フェムト秒レーザ ,  *ナノ構造 ,  *格子構造
準シソーラス用語： グレーチング ,  シリカガラス ,  ホウケイ酸塩ガラス ,  基材 ,  多孔質ガラス

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ガラスの製造  (YC02020O) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： フェムト秒レーザ ,  水中 ,  浸漬 ,  多孔性ガラス ,  グレーティング