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J-GLOBAL ID：201502205286909397   整理番号：15A1206485

VOCの検出のためのスパッタCu膜の直接熱酸化により作成したCuOナノ粒子

CuO nanoparticles fabricated by direct thermo-oxidation of sputtered Cu film for VOCs detection

著者 (5件)： YAN Huiying (Inst. of Chemical Materials, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  YAN Huiying (Key Lab. of Rubber-Plastics, Qingdao Univ. of Sci. and Technol., Qingdao 266042, CHN) ,  TIAN Xianqing (Inst. of Chemical Materials, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  MA Fengguo (Key Lab. of Rubber-Plastics, Qingdao Univ. of Sci. and Technol., Qingdao 266042, CHN) ,  SUN Jie (Inst. of Chemical Materials, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 221  ページ： 599-605  発行年： 2015年12月31日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 統合CuOナノ粒子系センサを,従来の塗布法を用いることなく市販の平面状センサ基板上にマグネトロンスパッタCu膜の直接熱酸化により作成した。比較のために,容易な溶液法により生成したCuOナノ粒子およびCuOナノワイヤセンサも,円筒状基板上の既生成材料の手動塗布により各々作成した。センシング測定の結果,統合スパッタCuOナノ粒子センサは,200°Cにおけるエタノール蒸気20~500ppmに関し,応答時間4~10秒および回復時間4~8秒の比較2種の十分塗布したCuOナノ構造センサと比較し最高および最速応答を示した。今回開発したCuOナノ粒子センサは,200°Cにおけるエタノールに対する選択性,再現性および可逆性が良いことも示した。統合CuOナノ粒子センサの,一連の塩素化揮発性有機化合物(VOC)に対するセンシング性能も検討した。その結果,このセンサは,他の試験した還元標的全てに暴露した時増大する抵抗とは異なりCCl₄の20~500ppmに暴露する時例外的な抵抗の減少を示した。従って,統合CuOナノ粒子センサはVOCのセンシング利用のための有望な候補であり得ることを確信した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *揮発性有機化合物 ,  金属薄膜 ,  蒸着膜 ,  熱酸化 ,  *酸化銅 ,  ナノ粒子 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *ガスセンサ ,  *電気抵抗 ,  *電気化学センサ ,  電子顕微鏡観察 ,  脂肪族アルコール ,  脂肪族塩素化合物 ,  アルカン ,  脂肪族ニトリル ,  環状エーテル ,  アルキルベンゼン

分類 (2件)： 有機化合物の電気分析  (CC05034O) ,  分析機器  (CC02020S)

物質索引 (11件)： エタノール ,  四塩化炭素 ,  ジクロロメタン ,  1,1,2-トリクロロエタン ,  1,2-ジクロロエタン ,  ジブチルフタラート ,  n-ヘキサン ,  アセトニトリル ,  THF ,  トルエン ,  メタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： VOC ,  スパッタ ,  Cu ,  熱酸化 ,  CuOナノ粒子