抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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紫外線励起加工の基礎研究の一環として,アルミニウム合金の研磨現象を取り上げた。Alを数種の水溶液に浸漬し,XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy:X線光電子分光法)により表面の定性分析を行い,Al表面で起こる化学反応を推定した。また,Al,Mg,Feなどの酸化・溶解量を,ICPS(Inductively Coupled Plasma Spectrometry:誘導結合プラズマ発光分光分析法)により定量的に分析した。A5052の研磨過程に結びつけて論じた結果,次のような結言を得ることができる。AlはTiO
2水溶液には溶けず,TiO
2-H
2OスラリーによるA5052の研磨では,研磨面の変化は小さい。AlはCathilon水溶液には少量溶けるが,Cathilon-H
2OスラリーによるA5052の研磨では,研磨面の変化は小さい。AlはTiO
2-Cathilon水溶液に対して,紫外線照射下でもAlの溶解量はそれほど増えない。Alの酸化物,窒素酸化物,窒化物が生成し,塩化物が少量溶解する。TiO
2-Cathilon-H
2Oスラリーに紫外線照射したとき,A5052の研磨面は平滑化されやすい。(著者抄録)