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J-GLOBAL ID:201502206286334838   整理番号:15A0783186

光触媒とCathilonによるA5052の研磨現象に対する一考察

著者 (1件):
資料名:
巻: 59  号:ページ: 402-407  発行年: 2015年07月01日 
JST資料番号: L0473A  ISSN: 0914-2703  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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紫外線励起加工の基礎研究の一環として,アルミニウム合金の研磨現象を取り上げた。Alを数種の水溶液に浸漬し,XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy:X線光電子分光法)により表面の定性分析を行い,Al表面で起こる化学反応を推定した。また,Al,Mg,Feなどの酸化・溶解量を,ICPS(Inductively Coupled Plasma Spectrometry:誘導結合プラズマ発光分光分析法)により定量的に分析した。A5052の研磨過程に結びつけて論じた結果,次のような結言を得ることができる。AlはTiO2水溶液には溶けず,TiO2-H2OスラリーによるA5052の研磨では,研磨面の変化は小さい。AlはCathilon水溶液には少量溶けるが,Cathilon-H2OスラリーによるA5052の研磨では,研磨面の変化は小さい。AlはTiO2-Cathilon水溶液に対して,紫外線照射下でもAlの溶解量はそれほど増えない。Alの酸化物,窒素酸化物,窒化物が生成し,塩化物が少量溶解する。TiO2-Cathilon-H2Oスラリーに紫外線照射したとき,A5052の研磨面は平滑化されやすい。(著者抄録)
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引用文献 (18件):
  • 1) O. Kirino and T. Enomoto: Development of Abrasive-free Polishing Method for Cu Utilizing Vacuum Ultra-Violet Light, Transactions of the JSME, 74, 742 (2008-6) 288 (in Japanese).
  • 2) J. Watanabe and M. Touge: Super-fine polishing technology of diamond excited by an ultraviolet ray, Machine Technology, 60, 5 (2012) 46 (in Japanese).
  • 3) T. Sakamoto, T. Inaki, K. Oda, M. Touge and T. Fujita: Ultraviolet-assisted Polishing of 4 inch SiC Substrate, J. JSAT, 58, 4 (2014) 235 (in Japanese).
  • 4) T. Sakamoto, Y. Nambu, R. Saitou, M. Touge, T. Kawashita and N. Touge: Development of UV-truing technology for diamond grit-arranged blocks, J. JSAT, 57, 9 (2013) 600 (in Japanese).
  • 5) T. Ohyoshi, H. Unpou, Y. Isono and T. Tanaka: Study of Ultraviolet-Ray Aided Machining (1stReport) - Verification of Basic Principle and Phenomena, JSPE Kansai District Meeting (1999) 31(in Japanese).
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