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J-GLOBAL ID：201502206550230884   整理番号：15A1088944

dcマグネトロンスパッタで堆積したCrN/(Cr,V)N硬被覆の酸化耐性

Oxidation resistance of CrN/(Cr,V)N hard coatings deposited by DC magnetron sputtering

著者 (9件)： PANJAN P. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  DRNOVSEK A. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  KOVAC J. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  GSELMAN P. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  BONCINA T. (Univ. of Maribor, Fac. of Mechanical Engineering, Smetanova 17, 2000 Maribor, SVN) ,  PASKVALE S. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  CEKADA M. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  KEK Merl D. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  PANJAN M. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 591  号： PB  ページ： 323-329  発行年： 2015年09月30日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温における自己潤滑用に可能性の高い候補として,バナジンをドープした硬被膜の入手が可能になった。その低い摩擦係数は,主にV₂O₅相の形成に由来する。しかし,バナジン酸化物の形成は,その保護的被膜の場合には,低い摩擦係数と良好な力学的特性の組み合わせを実現できるように,バナジンの外部拡散による制御が必要である。この研究では,バナジンの外部拡散を一層良好に制御し,一方,最上部の酸化クロム層がバナジン拡散の障壁の作用をもつ方法として,CrN/(Cr,V)N硬質皮膜のナノ層の応用を提案した。しかし,この研究の目標は,酸化層形成だけに留まらない。バナジンの強い拡散が観測される成長欠陥で起る酸化過程に特に注目した。CC800/(CemeCon)工業ユニットでのdc非平衡マグネトロンスパッタリングによりCrN/(Cr,V)Nナノ層を堆積した。(Cr,V)N層内のバナジン濃度を1.0~11.5at%域で変化させた。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *クロム化合物 ,  *窒化物 ,  バナジウム ,  *多層膜 ,  被覆 ,  *ドーピング ,  自己潤滑 ,  *耐酸化性 ,  摩擦係数 ,  酸化バナジウム ,  硬質材料 ,  固体内拡散 ,  *拡散律速
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング ,  窒化クロム ,  二層膜 ,  酸化耐性 ,  拡散制御

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： DC ,  マグネトロンスパッタ ,  堆積 ,  Cr ,  酸化耐性