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J-GLOBAL ID：201502206971999435   整理番号：15A0796419

表面技術の歩み 44 アルマイトの歩み(21)アルマイト微細構造研究の歩み(1)

著者 (1件)： 小野幸子 (工学院大)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 66  号： 7  ページ： 313-319  発行年： 2015年07月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,アノード酸化膜は,そのポーラス構造をナノオーダで制御できる点で,種々のナノデバイスの出発材料として世界中で研究されている。本稿では,シリーズ”表面技術の歩み”のアルマイト編として,特にその微細構造の研究に焦点を当てて解説する。まず,アルマイト開発の黎明期で確立されたアノード酸化膜皮膜の構造(バリア型,ポーラス型被膜)について説明した上で,バリア型被膜において進展したアノード酸化の基礎理論を解説する。次に,ポーラス皮膜の孔発生過程(バリア層成長とそれに次ぐ多数の微細孔の発生,電圧に依存したサイズの孔成長),電流回復現象と電場加速溶解に関する論争,ポーラス皮膜の構造制御因子(電圧)について解説する。最後に,皮膜の組成と構造評価として,成膜中の電解質アニオンの封入,Pore-filling(再アノード酸化)による構造評価,アノード酸化皮膜の密度について述べる。

シソーラス用語： *制御 ,  *アルマイト ,  表面処理 ,  陽極酸化処理 ,  陽極酸化皮膜 ,  *微細構造 ,  細孔構造 ,  細孔径 ,  電圧依存性 ,  細孔径分布 ,  機能素子 ,  透過型電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  電解液 ,  コロニー ,  構造解析
準シソーラス用語： セルサイズ ,  バリア層 ,  *構造制御 ,  三次元構造 ,  断面TEM

分類 (1件)： 化成処理  (WC08050J)

タイトルに関連する用語 (3件)： アルマイト ,  微細構造 ,  研究