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J-GLOBAL ID：201502207077063181   整理番号：15A1356672

Pb含有量が異なるMIMキャパシタ用ゾル-ゲル由来チタン酸鉛ナノ膜の構造および電気的性質

Structural and Electrical Properties of Sol-Gel-Derived Lead Titanate Nanofilms with Different Pb Contents for MIM Capacitors

著者 (10件)： NURBAYA Z. (Universiti Teknologi MARA, NANO-ElecTronic Centre (NET), Fac. of Electrical Engineering, 40450, Shah Alam, Selangor ...) ,  NURBAYA Z. (Universiti Teknologi Malaysia, Razak School of Engineering and Advanced Technol., 54100, Kuala Lumpur, Malaysia) ,  WAHID M. H. (Universiti Teknologi MARA, Fac. of Applied Sciences, Dep. of Polymer, 40450, Shah Alam, Selangor, Malaysia) ,  ROZANA M. D. (Universiti Teknologi MARA, Fac. of Applied Sciences, Dep. of Polymer, 40450, Shah Alam, Selangor, Malaysia) ,  ALROKAYAN S. A. H. (King Saud Univ. (KSU), Dep. of Biochemistry, Coll. of Sci., Bldg. 5, P.O. 2454, 11451, Riyadh, SAU) ,  KHAN H. A. (King Saud Univ. (KSU), Dep. of Biochemistry, Coll. of Sci., Bldg. 5, P.O. 2454, 11451, Riyadh, SAU) ,  GAN W. C. (Universiti Malaya, Low Dimensional Res. Centre, Fac. of Sci., 50603, Kuala Lumpur, Malaysia) ,  MAJID W. H. A. (Universiti Malaya, Low Dimensional Res. Centre, Fac. of Sci., 50603, Kuala Lumpur, Malaysia) ,  RUSOP M. (Universiti Teknologi MARA, NANO-ElecTronic Centre (NET), Fac. of Electrical Engineering, 40450, Shah Alam, Selangor ...) ,  RUSOP M. (Universiti Teknologi MARA, NANO-Sci Tech Centre (NST), Inst. of Sci., 40450, Shah Alam, Selangor, Malaysia)
資料名： JOM  (JOM)
巻： 67  号： 12  ページ： 2869-2876  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： C0321A  ISSN： 1047-4838  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 被覆ガラスの裸電極への改良スピンコーティングを含む新規方法を用い,チタン酸鉛(PbTiO₃)に基づく金属-絶縁体-金属(MIM)キャパシタを作製した。PbTiO₃膜の電気的性質を改良するため,種々の濃度の酢酸鉛(PbAc)粉末を添加して種々の溶液を作製した。ナノ膜の表面形態,誘電特性,および電流-電圧特性を評価した。物理的性質および誘電特性は,作製した膜中のPbAc含有量の増加と5~25wt%の範囲で関連していた。10wt%PbAcを含有した膜は許容できる誘電率,低損失係数,および100kHz以下の低周波数において改良された静電容量密度を示した。約10^-7Acm²において低い漏れ電流密度および高い抵抗挙動が得られた。得られた膜はMIMキャパシタに適しており,記憶貯蔵への応用可能性を示した。Copyright 2015 The Minerals, Metals & Materials Society Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *コンデンサ ,  薄膜コンデンサ ,  記録装置 ,  *チタン酸鉛 ,  ゾル-ゲル法 ,  スピンコーティング ,  *電気的性質 ,  *微細構造 ,  ナノ構造 ,  超薄膜 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  表面性状 ,  誘電性 ,  電流電圧特性 ,  誘電率 ,  抗力係数 ,  静電容量 ,  周波数依存性 ,  電流密度 ,  電気抵抗率 ,  走査電子顕微鏡 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  誘電損失 ,  鉛化合物 ,  脂肪酸 ,  カルボン酸塩 ,  ナノシート
準シソーラス用語： キャパシタ ,  組成依存性 ,  ナノ膜 ,  表面形態 ,  誘電特性 ,  損失係数 ,  漏れ電流密度 ,  FE-SEM

分類 (1件)： LCR部品  (NA05030D)

物質索引 (1件)： 酢酸鉛

タイトルに関連する用語 (7件)： Pb ,  含有量 ,  MIMキャパシタ ,  ゾル-ゲル ,  チタン酸鉛 ,  ナノ膜 ,  電気的性質