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J-GLOBAL ID：201502207244156537   整理番号：15A1020952

連続温度補償付きの高Qファクター共振MEMS加速度計

High Quality Factor Resonant MEMS Accelerometer With Continuous Thermal Compensation

著者 (4件)： ZOTOV Sergei A. (Univ. California at Irvine, CA, USA) ,  SIMON Brenton R. (Univ. California at Irvine, CA, USA) ,  TRUSOV Alexander A. (Univ. California at Irvine, CA, USA) ,  SHKEL Andrei M. (Univ. California at Irvine, CA, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 9  ページ： 5045-5052  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スケールファクターが調節できて動的環境変化に対して先天的に温度補償された,ダイナミックレンジの広い差動式の周波数変調(FM)加速度計を提案した。提案した差動式微小電気機械システム(MEMS) FM加速度計は,真空封入されたシリコン・オン・インシュレーター(SOI)音さ振動子の共振周波数追跡に基づいている。センサー・ダイには,感度軸が逆になるように同一の振動子を2基組み合わせており,振動子の差動式FM出力を復調することにより,共通モード誤差が除去され温度補償されたFM出力が得られる。スケールファクター変化は,温度範囲30°Cから75°Cにわたって0.5%未満で,バイアス不安定性は20sで6μg,ダイナミックレンジは130dBであった。

シソーラス用語： *MEMS ,  *加速度計 ,  *周波数変調 ,  Q値 ,  *温度補償 ,  周波数変動 ,  *共振周波数 ,  音叉 ,  水晶発振器 ,  SOI構造 ,  ドリフト ,  温度変動 ,  ダイナミックレンジ ,  分解能 ,  有限要素法 ,  モデリング ,  雑音特性 ,  Coriolisの力 ,  温度ドリフト
準シソーラス用語： Allan偏差 ,  周波数分解能

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 温度補償 ,  Qファクター ,  共振 ,  MEMS ,  加速度計