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J-GLOBAL ID:201502207332277670   整理番号:15A1096356

超音波振動が砥粒加工に与える効果

著者 (1件):
資料名:
巻: 2015  号: 秋季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.J39  発行年: 2015年08月20日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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近年,レンズ金型,高硬度素材の切削工具および次世代半導体基板などに,バインダレス超硬,SiC焼結体,SiC,サファイア,GaN単結晶,あるいはダイヤモンドなどの超高硬度素材が用いられるようになってきた。それらの加工特性向上のために,砥粒加工に超音波振動を援用する研究が活発になっている。本稿では,その近況に鑑み,超音波振動が砥粒加工に与える効果に関して整理した。具体的には,加工抵抗低減,砥石結合度の変化,目詰まり防止,研削液の洗浄効果向上,および小径工具のたわみ防止の効果に言及した。(著者抄録)
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