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J-GLOBAL ID：201502207486604615   整理番号：15A0965351

静電気および圧電気励振の下におけるマイクロシステムの非線形一次共振の研究

A study of the nonlinear primary resonances of a micro-system under electrostatic and piezoelectric excitations

著者 (2件)： HOSHIAR Ali K (Islamic Azad Univ., Qazvin, IRN) ,  RAEISIFARD Hamed (Islamic Azad Univ., Qazvin, IRN)
資料名： Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part C. Journal of Mechanical Engineering Science  (Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part C. Journal of Mechanical Engineering Science)
巻： 229  号： 10  ページ： 1904-1917  発行年： 2015年07月 
JST資料番号： H0720A  ISSN： 0954-4062  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積回路におけるマイクロシステムには,梁,板,膜あるいは他の機械構成要素のような移動部品が含まれている。本文では,静電気および圧電気励振の下におけるマイクロシステムの非線形一次共振を検討した。まず,問題を記述し,定式化を検討した。ここでは,基礎,運動の支配方程式を検討した。ついで,マイクロシステムの静的たわみを検討した。つづいて,対応する固有振動数を検討した。ひきつづき,一次共振を検討した。本研究の結果,検討した方法によって,システムの軟化および硬化挙動に及ぼす形状,材料および励振電圧のような各種のパラメータの影響を把握できることがわかった。また,適切な圧電DC電圧を適用することによって,非線形効果を制御でき,線形領域に変化させれることもわかった。

シソーラス用語： *共振 ,  *集積回路 ,  MEMS ,  *アクチュエータ ,  静電気 ,  圧電気 ,  励振 ,  固有振動数 ,  たわみ ,  非線形振動

分類 (2件)： 固体デバイス一般  (NC03010Z) ,  構造動力学  (HD02000E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 静電気 ,  圧電気 ,  励振 ,  マイクロシステム ,  非線形 ,  共振 ,  研究