文献

J-GLOBAL ID：201502207501765400   整理番号：15A0950029

機能性フィルムの展開と周辺技術 インライン膜厚測定を実現する光干渉式膜厚計

著者 (1件)： 中野哲寿 (浜松ホトニクス)
資料名： プラスチックスエージ  (Plastics Age)
巻： 61  号： 9  ページ： 55-58  発行年： 2015年09月01日 
JST資料番号： G0951A  ISSN： 0551-0503  CODEN： PUEJDH  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 浜松フォトニクス(株)の光干渉式膜厚計を紹介した。本装置では膜厚が薄い場合にはカーブフィッティング法を,厚いときはFFT(高速フーリエ変換)法を用いている。基板の片面だけでなく両面にコーティング層があっても,裏面からの反射光を考慮して正しい膜厚を求めることができる。本装置は精度±0.4%で10nm~100μmの膜厚が測定でき,計測時間は3ms/pointである。小型化されているため,インライン製造装置や検査装置へ組み込みが容易である。膜厚と同時に色計測が可能であり,フィルムやFPDの色むらの有無やその度合いを検査できる。400~1,100nmの波長域に対応しているため,様々な波長での計測が可能である。パラメータ設定に対話方式を採用したので不慣れな作業者でも使える。また測定位置でフィルムが上下に移動しても安定した測定が可能で,±3mm上下しても測定結果の変動幅は0.1nm以下であり,センサ角度が5°変動しても0.4nm以下である。

シソーラス用語： *膜厚 ,  厚み測定 ,  光干渉法 ,  計測器 ,  *厚み計 ,  測色 ,  プラスチックフィルム ,  塗膜欠陥 ,  *薄膜 ,  半導体素子
準シソーラス用語： 機能性フィルム ,  色斑

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 機能性フィルム ,  展開 ,  周辺技術 ,  インライン ,  膜厚測定 ,  光干渉 ,  膜厚計