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J-GLOBAL ID：201502207637966298   整理番号：15A1121911

広範囲XYθ3次元増分容量性変位センサの新しい設計【Powered by NICT】

Novel Design of a Large Range X-Y-θ Three-Dimensional Incremental Capacitive Displacement Sensor

著者 (4件)： Yu Jianping (Coll. of Mechanical Engineering,Quzhou Univ., Zhejiang, Quzhou) ,  Wang Wen (School of Mechanical Engineering,Hangzhou Dianzi Univ., Hangzhou) ,  Lu Keqing (School of Mechanical Engineering,Hangzhou Dianzi Univ., Hangzhou) ,  Li Xin (Coll. of Mechanical Engineering,Quzhou Univ., Zhejiang, Quzhou)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 28  号： 3  ページ： 357-362  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 広範囲XYθ三次元増分静電容量変位センサの新しい設計を提案し,その測定性能を解析した。ヨー角度誤差を考慮して,このセンサの数学モデルを構築し,線形変位測定のヨー角度誤差の影響を解析した。解析に基づいて,新しいXYθ三次元変位測定法を導入し,三角角付加定式はX-Yリニア変位測定のヨー角度誤差の影響を分離するために適用した。追加ヨー角度位置もこの方法から発生させた。実験結果は,ヨー角度位置は0 2°0 4°0.8°と2 0°の場合,X-Yリニア変位信号の非線形性は一貫してある,0から24%0 62%の範囲と,ヨー角度位置のデカップリング誤差は0 01°以下であることを示した。XYθ変位情報は完全分離,測定の安定性が大幅に改善した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： デカップリング ,  変位測定 ,  三次元 ,  *センサ ,  定式化 ,  数学モデル ,  非線形性 ,  静電容量 ,  線形性
準シソーラス用語： *変位センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  計算機シミュレーション  (JE11000H)

タイトルに関連する用語 (4件)： 3次元 ,  容量性 ,  変位センサ ,  設計