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J-GLOBAL ID：201502207670643640   整理番号：15A1379423

CVD及びPVD工程を用いてTiN被覆した工具のNi基超合金連続切削時の比較

Comparison of TiN-coated tools using CVD and PVD processes during continuous cutting of Ni-based superalloys

著者 (5件)： KOSEKI Shuho (Hitachi Metals, Ltd., Metallurgical Res. Lab., JPN) ,  INOUE Kenichi (Hitachi Metals, Ltd. High-Grade Metals Co., Engineering Dep., SEAVANS North Bldg., 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku ...) ,  MORITO Shigekazu (Shimane Univ., Dep. of Materials Sci., 1060 banchi, Nishikawatsu-chou, Matsue-shi, Shimane-ken 690-0823, JPN) ,  OHBA Takuya (Shimane Univ., Dep. of Materials Sci., 1060 banchi, Nishikawatsu-chou, Matsue-shi, Shimane-ken 690-0823, JPN) ,  USUKI Hiroshi (Shimane Univ., Dep. of Materials Creation and Circulation Technol., 1060 banchi, Nishikawatsu-chou, Matsue-shi ...)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 283  ページ： 353-363  発行年： 2015年12月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高強度,低熱伝導のNi基超合金は,機械加工プロセス時に他の材料より高い切削力と切削温度を必要とする。被膜の欠陥生成や物理的及び機械的特性などの特徴がどのように切削性能に影響するかを理解するために,TiN被膜を3種の物理蒸着(PVD)法(アーク放電イオンプレート,スパッタ及び中空カソード)と化学気相堆積法(CVD)により製膜した。スパッタとCVDは,他の方法より欠陥の少ないTiN被膜をもたらした。続いて,718合金の加工時に起きるTiN被膜の損傷について,連続切削条件で調べた。スパッタとCVDにより被覆した工具は,重度の破壊や被膜の剥離なしのマイクロアブレーション摩耗を示した。また,CVD被膜は最良の切削性能と,PVD被膜に比べて小さい塑性変形を示した。X線回折,ナノインデンテーション,電子線後方散乱回折及び透過型電子顕微鏡により,TiN被膜のキャラクタリゼーションを行った。熱処理の前後で被膜の硬度を測定すると,CVD被膜はPVD被膜よりも加熱による軟化に対してより大きな耐性を持っていた。PVD被膜の硬度低下は,PVD被膜中での歪み緩和,原子再配列及び粒成長に起因していた。このような良好な高温安定性と低欠陥密度を持つ高強度被膜は,Ni基超合金の機械加工時に切削工具を強く保護する。本研究の結果に基づけば,CVD堆積した微細構造被膜はNi基超合金の切削に対する良い候補被膜であろう。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *切削工具 ,  母材 ,  *ニッケル合金 ,  *超合金 ,  *チタン化合物 ,  窒化物 ,  化学蒸着 ,  物理蒸着 ,  イオンめっき ,  アーク放電 ,  イオンビーム蒸着 ,  スパッタリング ,  ホロー陰極放電 ,  インコネル ,  切削 ,  損傷 ,  *切削性 ,  硬度 ,  熱安定性 ,  欠陥密度 ,  強度 ,  *セラミック被覆 ,  *セラミック膜 ,  *被覆工具
準シソーラス用語： 718合金 ,  アークイオンプレーティング ,  高強度 ,  *窒化チタン ,  *連続切削

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： CVD ,  PVD ,  TiN被覆 ,  工具 ,  Ni基超合金 ,  連続切削