文献

J-GLOBAL ID：201502207738181488   整理番号：15A1065028

分野別にみるEPMA分析手法~凹凸試料から微量炭素分析まで~

著者 (1件)： 森憲久 (日本電子)
資料名： 日本電子News
巻： 47  号： 1  ページ： 48-54  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： Y0013A  ISSN： 0386-6572  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA)は,高い分析能力をもつことから様々な分野で活用されている。分析目的に応じてアタッチメントを追加することでより高度な分析やより効率的な分析が可能となる。EPMAの応用分野を,鉄鋼・非鉄金属,自動車,電子部品・半導体,化学,資源エネルギー,地質の6分野に分け,各分野において有効なアタッチメントをまとめた。今回まとめたアタッチメントのうち近年開発した新しい分析手法であるマルチハイトマップ,コンタミネーション対策,多結晶加算プログラムについて紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *電子プローブX線分析 ,  *X線マイクロアナライザ ,  利用 ,  付属物 ,  試料 ,  粗面 ,  微量分析 ,  炭素
準シソーラス用語： EPMA【表面分析】

分類 (1件)： その他の物理分析  (CC03014E)

引用文献 (1件)：

• 第69回日本顕微鏡学会学術講演会 予稿集 藤田慎也、神山亮太、本田繁、森憲久

タイトルに関連する用語 (6件)： EPMA ,  分析 ,  手法 ,  凹凸 ,  試料 ,  炭素