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J-GLOBAL ID：201502207792806957   整理番号：15A1096099

超高感度角度センサに関する研究

著者 (4件)： 丸山泰司 (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B08  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 次世代の超精密リニアステージにおけるサブナノメートル級の超高精度位置決め実現には,超高感度な角度センサによるステージ姿勢計測と,そのフィードバック制御が必要不可欠である。本報では,レーザーオートコリメーション法をベースとした光学式の超高感度角度センサについて,非球面レンズ適用による受光素子上でのスポット径縮小と,それに伴うセンサ高感度化について検討した結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *位置センサ ,  *センサ ,  高感度 ,  案内装置 ,  規模 ,  *位置決め ,  精度 ,  計測 ,  フィードバック制御 ,  コリメーション ,  光センサ ,  非球面レンズ ,  光検出器 ,  直径 ,  集光 ,  角度 ,  誤り検出 ,  集光レンズ ,  球面収差
準シソーラス用語： サブナノスケール ,  スポット径 ,  *リニアエンコーダ ,  リニアステージ ,  レーザーオートコリメーション ,  *角度センサ ,  姿勢角 ,  姿勢計測 ,  受光素子 ,  超高感度 ,  超高精度

分類 (2件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z) ,  制御機器一般  (IC02010N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高感度 ,  角度センサ ,  研究