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J-GLOBAL ID：201502207922421858   整理番号：15A1356638

近接場走査光学顕微鏡法用の増強アスペクト比をもつ二重テーパプローブの作製

Fabrication of a double-tapered probe with enhanced aspect ratio for near-field scanning optical microscopy

著者 (1件)： MONONOBE Shuji (Toyo Univ., 2100 Kujirai, 3508585, Kawagoe-shi, Saitama-ken, JPN)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 121  号： 4  ページ： 1365-1368  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二重テーパプローブは0.8μm付近に赤外カットオフ波長をもつ高スループットのNSOMに広く利用されている。ある研究者達は偏光変調NSOMや関連技術に対して可視波長カットオフをもつ単一モードファイバプローブをしばしば必要としている。プローブのアスペクト比の改善は開口型NSOMの応用に対して取り組むべき最も重要な課題である。ここでは新しいNSOMファイバと突き出したクラッドと単一モード導波路をもつ二重テーパプローブを提案した。このファイバはGe-SiO₂コアとSiO₂クラッドおよびF-SiO₂支持体からなり,0.47μmのカットオフ波長をもっている。ClとFのドーピング比のプロファイルはこのファイバのプリフォームロッドの作製中に注意して制御しなければならない。さらに,二重テーパプローブは幾何学的考察に基づいてそのアスペクト比を最適化した。提案のプローブを作製するためには,この新しい単一モードファイバを緩衝HF溶液中に浸漬してテーパ化する。突き出したクラッドにより,作製したこのプローブは0.24というアスペクト比をもっている。このアスペクト比はこれまでに作製したプローブより1.8倍,高い。Copyright 2015 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  *走査光学顕微鏡 ,  *近接場 ,  *光プローブ ,  テーパ構造 ,  *アスペクト比 ,  *単一モードファイバ ,  二酸化ケイ素 ,  ゲルマニウム ,  フッ素 ,  ドーピング ,  塩素 ,  *テーパ加工 ,  二重構造
準シソーラス用語： *近接場走査光学顕微鏡

分類 (3件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 近接場走査光学顕微鏡 ,  増強 ,  アスペクト比 ,  作製