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J-GLOBAL ID：201502208709190997   整理番号：15A0978734

P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波センサの感度改善

Improvement of Sensitivity of MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者 (4件)： 田中恒久 (大阪府産業技総研) ,  村上修一 (大阪府産業技総研) ,  宇野真由美 (大阪府産業技総研) ,  山下馨 (京都工繊大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-15  号： 31-43  ページ： 31-36  発行年： 2015年07月02日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 圧電体材料にフッ化ビニリデン・三フッ化エチレン共重合体(P(VDF/TrFE))薄膜を用いたダイアフラム構造のMEMS超音波センサを試作し,その特性について検証した。測定・評価の結果,今回の取り組みで実施した,ダイアフラム構造の曲げ剛性を低減させる改良によって,MEMS超音波センサの受信感度が向上していることを明らかにした。

シソーラス用語： *音波センサ ,  MEMS ,  試作 ,  薄膜 ,  圧電体 ,  フッ化ビニリデン-トリフルオロエチレン共重合体 ,  ダイヤフラム ,  曲げ剛性 ,  感度
準シソーラス用語： 圧電薄膜 ,  *超音波センサ

分類 (2件)： その他の音響応用  (BB03100I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• J. Eguchi, K. Ozaki: ”Development of the Autonomous Mobile Robot for Target-Searching in Urban Areas in the Tsukuba Challenge 2013”, Journal of Robotics and Mechatronics, 26, 2, pp.166-176 (2014)
• K. Yamashita, H. Katata, M. Okuyama, H. Miyoshi, G. Kato, S. Aoyagi, and Y. Suzuki: ”Arrayed ultrasonic microsensors with high-directivity for in -air use using PZT thin film on silicon diaphragm”, Sensors and Actuators A, Phs.97-98C, 1-3, pp.302-307 (2002)
• S. Lee, T. Tanaka, K. Inoue, ”Residual stress influence on the sensitivity of ultrasonic sensor having composite membrane structure”, Sensors and Actuators A, 125, pp.242-248 (2006)
• 田中恒久,李昇穆,宇野真由美,井上幸二,青柳誠司,山下馨,奥山雅則:「フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロアレイセンサの特性改善」,電気学会論文誌E,Vol.127,No.1 pp.7-13(2007)
• T. Furukawa, ”Ferroelectric properties of vinylidene fluoride copolymers”, Phase Transitions, 18 pp.143-211 (1989)

タイトルに関連する用語 (5件)： VDF ,  薄膜 ,  MEMS ,  超音波センサ ,  感度