コロナ放電により選択的に堆積されるSiO<sub>2</sub>の特性

文献

J-GLOBAL ID：201502208775173440 整理番号：15A1044773

コロナ放電により選択的に堆積されるSiO₂の特性

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資料名：
巻： 76th ページ： ROMBUNNO.13P-PA2-9 発行年： 2015年08月31日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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光物性一般 , 酸化物薄膜

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