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J-GLOBAL ID：201502208882480275   整理番号：15A1399155

有機ケイ素に基づく水分バリア層の性能に与えるナノ孔充填の影響

The impact of the nano-pore filling on the performance of organosilicon-based moisture barriers

著者 (11件)： PERROTTA Alberto (Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  PERROTTA Alberto (Dutch Polymer Inst. (DPI), P.O. Box 902, 5600 AX Eindhoven, NLD) ,  ARESTA Gianfranco (Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  VAN Beekum Erik R.J. (Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  PALMANS Jurgen (Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  VAN de Weijer Peter (Philips Res., High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  VAN de Sanden M.c.m. Richard (Dutch Inst. for Fundamental Energy Res. (DIFFER), P.O. Box 1207, 3430 BE Nieuwegein, NLD) ,  KESSELS W.m.m. Erwin (Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  KESSELS W.m.m. Erwin (Solar Res. SOLLIANCE, High Tech Campus 5, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  CREATORE Mariadriana (Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  CREATORE Mariadriana (Solar Res. SOLLIANCE, High Tech Campus 5, 5656 AE Eindhoven, NLD)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 595  号： PB  ページ： 251-257  発行年： 2015年11月30日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水分および酸素浸透バリア特性に関する有望な結果が有機/無機多層において報告されたが,全体のバリア性能に与える有機中間層の影響はまだ議論されている。一般的に,有機中間層は,ポリマー基板および無機層に存在する欠陥/ピンホールの分離を可能とする,平滑化層として働くということが受け入れられている。しかしながら,有機中間層が無機バリア層に存在するナノ孔に浸透し,それゆえ,微細構造レベルでバリア特性に影響を与えることも仮定されている。本研究では,開始剤利用およびプラズマ増強化学蒸着で蒸着したSiO₂/有機ケイ素多層の水分浸透バリア性能を調べた。層を通した全体の水分浸透(実効水蒸気透過率,WVTR)と基質間隙を通した浸透(固有WVTR)を区別するため,カルシウムテストを利用した。固有バリア性能に関する向上は,SiO₂ナノ孔における有機ケイ素モノマーの充填/浸透のため,残留ナノ間隙含有量に関連することがわかった。しかしながら,有機ケイ素中間層の蒸着でのそのような向上は4倍に制限される。多層構造に存在する局所欠陥の分析と組み合わせて,これら結果は,全体のバリア性能への有機ケイ素中間層の主な寄与が先に述べた局所欠陥/ピンホールのデカップリングであるという結論をもたらす。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *二酸化ケイ素 ,  *有機ケイ素化合物 ,  *多層膜 ,  層 ,  *拡散障壁 ,  *水分 ,  ピンホール ,  欠陥 ,  *細孔 ,  *充填
準シソーラス用語： バリア層 ,  中間層 ,  局所欠陥 ,  ナノ細孔

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 有機ケイ素 ,  水分 ,  バリア層 ,  ナノ孔