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J-GLOBAL ID：201502208916628153   整理番号：15A1382111

大気圧低温プラズマ法により作製したAZO/ZnO2層膜のPL特性

著者 (3件)： 高倉直也 (香川高専) ,  須崎嘉文 (香川大) ,  鹿間共一 (香川高専)
資料名： 電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (Shikoku-Section Joint Convention Record of the Institutes of Electrical and Related Engineers (CD-ROM))
巻： 2015  ページ： ROMBUNNO.11-4  発行年： 2015年09月26日 
JST資料番号： L1738B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *大気プラズマ ,  *プラズマ ,  *酸化亜鉛 ,  *薄膜 ,  *多層膜 ,  *光ルミネセンス ,  *特性 ,  キャリアガス ,  流量 ,  酸素 ,  ガス流量 ,  *低温プラズマ ,  *ZnOフィルム ,  *二重層
準シソーラス用語： *AZO ,  *ZnO薄膜 ,  *二層膜

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧低温プラズマ ,  作製 ,  Azo ,  PL