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J-GLOBAL ID：201502208929461657   整理番号：15A0946137

普及めざす太陽光発電 太陽電池製造における材料ガスの安全な取扱い~排ガス処理装置について~

資料名： JETI  (JETI)
巻： 63  号： 9  ページ： 75-77  発行年： 2015年08月19日 
JST資料番号： F0013B  ISSN： 0289-4343  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 太陽電池製造に使われる毒性・自己発火性・可燃性・温室効果を有する材料ガスやクリーニングガスの廃棄の際の排ガス処理と処理装置(除害装置)につき概説した。シリコン系太陽電池では材料ガスにSiH4,B2H6,PH3,NH3が,クリーニングガスにはNF3が使われる。ここでは先ず,排ガス処理・処理装置に求められる性能(排出ガス濃度低減,投入エネルギー低減,低処理コスト,安定運転)につき概括した。次に大陽日酸社の排ガス処理装置の機種とそれらの仕様・装置の概略構造とともに,特長と処理効果について紹介した。

シソーラス用語： 太陽光発電 ,  *太陽電池 ,  原料 ,  気体 ,  浄化 ,  *排ガス処理 ,  *排ガス処理施設 ,  性能 ,  原価低減 ,  エネルギー効率 ,  環境保全
準シソーラス用語： *クリーニングガス ,  シリコン太陽電池 ,  *材料ガス ,  処理性能 ,  製品紹介

分類 (3件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  排ガス処理法  (SC04020W)

タイトルに関連する用語 (5件)： 普及 ,  太陽光発電 ,  太陽電池 ,  取扱い ,  排ガス処理装置