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J-GLOBAL ID：201502209036632387   整理番号：15A0778030

超低電気抵抗で,高透明なITO R2Rスパッタリング装置メーカーのチャレンジャースピリットの30年

Ultra-low Resistance, High-transparency ITO R2R Sputtering 30 Years of a Machine Manufacturer’s Challenger Spirit

資料名： Convertech & e-Print  (Convertech & e-Print)
巻： 5  号： 3  ページ： 4-8  発行年： 2015年05月 
JST資料番号： L8287A  ISSN： 2185-6931  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1985年にロック技研工業(株)が,フレキシブル包装グラビア印刷機製造メーカとして出発し,1995年に光学レンズ向けのバッチ式真空薄膜蒸着装置を生産開始した。2000年には,ロールツーロール(R2R)式の真空薄膜蒸着装置を開発し始めて,バリアフィルム,超電導電線構成材そして透明導電膜の製造メーカーへ提供した。3年前に,R2R式スパッタリング装置を使ってPETフィルム上へ100Ω/cm²以下の表面電気抵抗率の超低電気抵抗ITO膜を蒸着するのに成功した。30周年の創立記念日が近づくに連れて,2015年にその装置を販売開始した。新しいタッチスクリーン機能と一体化した大型ディスプレイの出現と共に,それらの装置への期待は,超低電気抵抗の透明導電性ITO膜市場の成長に対して高まってきた。既に,日本,韓国そして台湾からの試験膜蒸着用の要望が到着している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 電気伝導 ,  透明度 ,  *酸化インジウムスズ ,  生産方式 ,  *スパッタリング装置 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  電気抵抗率 ,  蒸着膜 ,  タッチスクリーン ,  表示装置
準シソーラス用語： ロール・ツー・ロール方式 ,  大型ディスプレイ ,  表面抵抗率

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電気抵抗 ,  ITO ,  スパッタリング装置 ,  メーカー