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J-GLOBAL ID：201502209066045710   整理番号：15A1023484

ゼロ膨張高剛性セラミックスの開発および実用化

Development and Application of High-rigidity Low-thermal-expansion Ceramics

著者 (5件)： 梅津基宏 (太平洋セメント) ,  中村浩章 (太平洋セメント) ,  石井守 (太平洋セメント) ,  井口真仁 (太平洋セメント) ,  松尾裕之 (日本セラテック)
資料名： 太平洋セメント研究報告  (Journal of Research of the Taiheiyo Cement Corporation)
号： 168  ページ： 56-63  発行年： 2015年07月25日 
JST資料番号： F0949B  ISSN： 1344-8773  CODEN： TKHOFN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 精密機器の高精度化に伴い,低熱膨張で高い剛性を有する材料の要求が高まっている。この要求に対応すべく,正の熱膨張係数を有し高剛性である炭化ケイ素と,負の熱膨張係数を有するリチウムアルミニウムシリケート系セラミックスを複合化することで,ゼロ膨張高剛性セラミックス「ZPF(Zero thermal expansion Pore Free ceramics)」を開発した。ZPFの比重は2.5,23°C±3°Cにおける熱膨張係数は0.0ppm/K,ヤング率は150GPaである。ZPFは,比重が石英ガラスとほぼ同等でありながら,ヤング率が約2倍であり,低熱膨張材としては格段に比剛性が高い材料である。また,ZPEの焼結性の改善に,窒化ケイ素の添加が有効であることを見い出し,緻密質な焼結体の製造を可能とした。これにより,半導体製造装置の機械部品であるステージやミラー部材としても適用されており,最近では,天体望遠鏡用途にも展開できる可能性を示した。(著者抄録)

シソーラス用語： セラミック ,  複合材料 ,  *材料設計 ,  実用化試験 ,  *炭化ケイ素 ,  アルミノケイ酸塩 ,  焼結 ,  焼結性 ,  助剤 ,  窒化ケイ素 ,  微細構造 ,  結晶構造 ,  相組成 ,  熱特性 ,  *熱膨張係数 ,  *機械的性質 ,  Young率 ,  剛性 ,  相対密度 ,  温度係数 ,  熱重量分析 ,  示差熱分析 ,  天体望遠鏡
準シソーラス用語： *セラミック基複合材料 ,  材料開発 ,  *アルミノケイ酸リチウム ,  焼結助剤 ,  微細組織 ,  比剛性 ,  半導体製造装置

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (8件)：

• 斎藤 肇.ファインセラミックスの活用.大河出版,1987,p.192.
• 日本セラミックス協会.セラミックス先端材料.オーム社,1991,p.29.
• M. Iguchi, M. Kataoka, S. Kikuchi, M. Ishii. A Study of zero thermal expansion ceramics. Key Engineering Materials, 2003, 247, p. 443-446.
• 山岡由宗,荒木慎一,助永壮平,齊藤敬高,安河内利一,中島邦彦.窒素含有コーディエライトセラミックスの作製.Journal of the Mining and Materials Processing Institute of Japan,2010,126,p.38-43.
• M. Umezu, M. Kataoka, H. Nakamura, M. Ishii. Influence of Nitride on sinterability of the composite of Lithium Aluminum Silicate and Silicon Carbide. The 3rd International Symposium on the Science of Engineering Ceramics, 2004, p. 66-67.

タイトルに関連する用語 (5件)： 膨張 ,  高剛性 ,  セラミックス ,  開発 ,  実用化