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J-GLOBAL ID：201502209104686636   整理番号：15A0966923

プラスタベース3Dプリンタによって製作された両面面内横方向櫛駆動アクチュエータ

A Double-Sided In-Plane Lateral Comb-Drive Actuator Fabricated by a Plaster-Based 3D-Printer

著者 (2件)： MIZUNO Jun ,  TAKAHASHI Satoshi
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 656/657  ページ： 594-599  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSの設計概念に基づく両面面内横方向櫛駆動アクチュエータの設計,製作および特性化について述べた。本アクチュエータはプラスタベース3Dプリンタによって製作された。プラスタ複合材は電気絶縁材料であるので,アクチュエータのような電気機械的機能を得るために適切なマスキングとメタライゼーションによって電極を形成した。アクチュエータは櫛の両面に加えられた電圧差(200Vpp,100Vバイアス)によって共振周波数72Hzで横方向に96.8μm(全幅)変位した。周波数特性から機械的品質係数は約10であると推定した。両面アクチュエータの横方向変位量は片面アクチュエータの2倍であった。

シソーラス用語： プラスタ ,  プリンタ ,  *アクチュエータ ,  櫛形 ,  マスキング ,  メタライゼーション ,  電極 ,  係数 ,  変位 ,  *製造 ,  *設計 ,  3Dプリンタ
準シソーラス用語： 横方向変位 ,  機械的品質係数

分類 (1件)： 電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラスタ ,  3Dプリンタ ,  製作 ,  横方向 ,  アクチュエータ