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J-GLOBAL ID：201502209195627769   整理番号：15A0789212

塩添加によってミクロ相分離したPS-b-PEO薄膜中の16nm未満ピッチ(ドメイン間隔)の垂直ラメラ配置

A vertical lamellae arrangement of sub-16 nm pitch (domain spacing) in a microphase separated PS-b-PEO thin film by salt addition

著者 (6件)： GHOSHAL Tandra (Materials research group, Dep. of Chemistry and Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland. ...) ,  NTARAS Christos ,  SHAW Matthew T. ,  HOLMES Justin D. ,  AVGEROPOULOS Apostolos ,  MORRIS Michael A.
資料名： Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices  (Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻： 3  号： 27  ページ： 7216-7227  発行年： 2015年07月21日 
JST資料番号： W2383A  ISSN： 2050-7526  CODEN： JMCCCX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低分子量対称形ポリスチレン-b-ポリエチレンオキシド(PS-b-PEO)ブロック共重合体(BCP)(PSブロックおよびPEOブロックはそれぞれ5.5および5.3kgmol^-1)を用いて極めて小さなフィーチャサイズ(約8nmドメイン幅)のナノパターンを実現した。本研究は実現した最小フィーチャサイズおよびこの系の薄膜形の垂直配向ラメラパターンの良好に制御された膜の最初の観測を報告した。本論文において合成および報告した高分子のχ_N値(=7.7)は10.5というBCP相分離限界予測値より小さかった。これらのパターンは塩化リチウム(LiCl)塩の添加によるBCP系の効果的な相互作用パラメータ(χ_eff)の増幅によって実現された。秩序化自己集合を説明するためにLi⁺イオンがPE鎖に影響を及ぼさずにPEOブロックと強く配位するモデルを提唱した。これらのPS-b-PEO/LiCl薄膜について温度,アニール時間,塩濃度,溶液熟成時間,アニール溶媒等などの実験パラメータの変化によって形態および構造変化を検討した。種々の顕微鏡および分光法技法から明白なようにすべての実験パラメータはこれらの対称性BCP薄膜の形態,ドメイン間隔,欠陥率または表面粗さに対して顕著に影響を及ぼした。リソグラフィーの分野におけるハードマスク利用の可能性が示された。Copyright 2015 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： *ジブロック共重合体 ,  *ポリスチレン ,  *ポリエチレンオキシド ,  *ミクロ相分離 ,  ラメラ ,  長さ ,  超薄膜 ,  高分子薄膜 ,  塩化リチウム ,  添加物効果 ,  *リソグラフィー
準シソーラス用語： フィーチャサイズ ,  ブロック共重合体リソグラフィー

分類 (2件)： 高分子固体のその他の性質  (CG02025L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 塩 ,  ミクロ相分離 ,  PS-b-PEO ,  薄膜 ,  ピッチ ,  ドメイン ,  垂直 ,  ラメラ