文献

J-GLOBAL ID：201502209266585132   整理番号：15A1205058

シリコン上の自己組織化シラン2重層の作製とトライボロジー特性

Fabrication and tribological properties of a self-assembled silane bilayer on silicon

著者 (2件)： WANG Peng (School of Materials Sci. and Engineering, China Univ. of Mining and Technol., Xuzhou 221116, CHN) ,  TENG Shu-Hua (School of Materials Sci. and Engineering, China Univ. of Mining and Technol., Xuzhou 221116, CHN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 592  号： PA  ページ： 105-109  発行年： 2015年10月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1,2-ビス(トリエトキシシリル)エタン-オクタデシルトリクロロシラン(BTSE-OTS)の自己組織化2層膜を,BTSEを中間層として利用して単結晶シリコン基板上に作製した。膜の表面形態は,約1.82nmの表面粗さを有する小さな丸い突起によって調べた。また,BTSE-OTS2層膜は,その同一の表面組成と同様の表面形態により,OTSの単層に匹敵する疎水性およびナノスケールの摩擦挙動を示した。マイクロトライボロジー特性を調べた結果,BTSE-OTS2層膜は低摩擦係数(~0.05)を維持しながら,OTS単層よりもはるかに高い耐摩耗性と耐荷重能力を有することが明らかになった。BTSE-OTS2層膜は,従来のOTSの単層と比較して,マイクロ/ナノ電気機械システムの潤滑への拡張された応用を見出すことができる。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *自己組織化 ,  *シラン ,  *多層膜 ,  *トライボロジー ,  基板 ,  ケイ素 ,  単結晶 ,  モルフォロジー ,  *表面構造 ,  表面粗さ ,  疎水性 ,  摩擦係数 ,  耐摩耗性 ,  耐荷力 ,  *MEMS
準シソーラス用語： *二層膜 ,  表面形態 ,  NEMS

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (2件)： 1,2-ビス(トリエトキシシリル)エタン ,  オクタデシルトリクロロシラン

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  自己組織化 ,  シラン ,  2重層 ,  作製 ,  トライボロジー特性