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J-GLOBAL ID：201502209302451466   整理番号：15A1339691

パルスレーザー蒸着法による(K,Na)NbO₃薄膜の作製

著者 (2件)： 藤井一郎 (龍谷大) ,  和田隆博 (龍谷大)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 27  号： 6  ページ： 56-62  発行年： 2015年12月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 圧電薄膜はセンサやアクチュエータなどに使われている。近年では振動を利用した環境発電デバイスの試作も行われておりその重要性が高まっている。現在圧電体として主にPb(Zr,Ti)O₃(PZT)が用いられているが,PZTは鉛を含むため環境負荷が大きい。ペロブスカイト構造を有する(K,Na)NbO₃は非鉛圧電材料の1つである。(K_xNa_1-x)NbO₃の圧電特性はKの固溶量xにより変化する。本稿では(K_xNa_1-x)NbO₃ターゲットを用い,パルスレーザ蒸着法によりSrRuO₃/(001)SrTiO₃基板上に形成した(K,Na)NbO₃膜の結晶構造や電気物性について報告した。X線回折より,Kの固溶量の増加に伴う(K,Na)NbO₃の結晶系の変化は,バルクセラミックスと基本的に同じ傾向を持つことが明らかとなった。(K,Na)NbO₃膜はすべて強誘電体に特徴的なP-Eループを示し,残留分極はx=0.5で最大約40μC/cm²になった。一般的な現象論から残留分極が大きいほど圧電特性が大きくなることが知られていることから,この組成近傍で大きな圧電特性が期待される。

シソーラス用語： *パルスレーザ蒸着 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  灰チタン石 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  結晶構造 ,  *ニオブ酸塩 ,  カリウム化合物 ,  ナトリウム化合物 ,  *圧電材料 ,  結晶格子 ,  誘電損失 ,  誘電率 ,  薄膜

分類 (2件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： パルスレーザー蒸着 ,  Na ,  薄膜 ,  作製