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J-GLOBAL ID：201502209342517699   整理番号：15A0922343

臭化水素系エッチング溶液を使用したCdTe検出器の表面処理

Surface Processing of CdTe Detectors Using Hydrogen Bromide-Based Etching Solution

著者 (11件)： NIRAULA M. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  YASUDA K. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  TAKAI N. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  MATSUMOTO M. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  SUZUKI Y. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  TSUKAMOTO Y. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  ITO Y. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  SUGIMOTO S. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  KOUNO S. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  YAMAZAKI D. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  AGATA Y. (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 36  号： 8  ページ： 856-858  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CdTe系材料は,室温動作する核放射線検出器用として最も有望である。本稿では,CdTe結晶のエッチング溶液での表面処理による放射線検出器の漏れ電流の改善について検討した。その結果,臭化水素(HBr)系エッチング溶液を使うことにより,従来のBr-メタノール(BM)エッチング溶液を使って製作したものより表面漏れ電流が低くなり,放射線検出性能が向上することが分かった。これらの表面処理の違いにより,表面化学状態が変化することが検出性能の差の原因と考えられる。

シソーラス用語： *臭化水素 ,  エッチング液 ,  *テルル化カドミウム ,  漏れ電流 ,  *放射線検出器 ,  感度 ,  性能 ,  能力 ,  状態 ,  化学的性質 ,  表面処理
準シソーラス用語： CdTe ,  エッチング溶液 ,  化学状態 ,  検出性能

分類 (1件)： 放射線検出・検出器  (AD08020J)

タイトルに関連する用語 (5件)： 臭化水素 ,  エッチング溶液 ,  CdTe ,  検出器 ,  表面処理