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J-GLOBAL ID：201502209408348869   整理番号：15A1047728

安心・安全を守る漏れ検知・検査技術 2)〔品質管理編〕高感度ヘリウム漏れ試験技術 ヘリウム漏れ量4E-15Pa・m³/sの測定技術

著者 (1件)： 樋口泰彦 (ふくだ)
資料名： 検査技術  (Inspection Engineering (Tokyo))
巻： 20  号： 10  ページ： 48-54  発行年： 2015年10月01日 
JST資料番号： L3524A  ISSN： 1342-9825  CODEN： KGEIAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子デバイス製品の多くは密封構造により,内部デバイスを外気や湿気から保護している。電子デバイスを長期にわたり性能保証するには高感度のデバイス漏れ計測が要求される。本文は,新たに開発したヘリウムガスを利用した高感度ヘリウム漏れ試験装置の概要を紹介した。

シソーラス用語： ヘリウム ,  *ガス漏れ ,  試験 ,  *漏れ検出器 ,  高感度
準シソーラス用語： *ヘリウムガス ,  *漏れ試験

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 安心 ,  漏れ ,  品質管理 ,  高感度 ,  ヘリウム ,  漏れ試験 ,  漏れ量