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J-GLOBAL ID：201502209483135510   整理番号：15A1018975

二次イオン質量分析データの質量スペクトル分析および定量化

Mass spectral analysis and quantification of Secondary Ion Mass Spectrometry data

著者 (3件)： BALAMURUGAN A.K. (Surface and Nanoscience Div., Materials Sci. Group, Indira Gandhi Centre for Atomic Res., Kalpakkam 603102, IND) ,  DASH S. (Surface and Nanoscience Div., Materials Sci. Group, Indira Gandhi Centre for Atomic Res., Kalpakkam 603102, IND) ,  TYAGI A.K. (Surface and Nanoscience Div., Materials Sci. Group, Indira Gandhi Centre for Atomic Res., Kalpakkam 603102, IND)
資料名： International Journal of Mass Spectrometry  (International Journal of Mass Spectrometry)
巻： 386  ページ： 56-60  発行年： 2015年07月15日 
JST資料番号： D0625A  ISSN： 1387-3806  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,SIMS(二次イオン質量分析)でのCs複合体イオンの定量化の側面を,全て可能なCs複合体の強度を組み合わせることにより,改善する可能性をハイライトした。全て可能なCs複合体の同定は,関心のある化合物からの質量スペクトルの定量的な分析を必要とした。この質量スペクトル分析の重要な段階は,元素の同位体豊度表からの構成化学種のフィンガープリント質量スペクトル構築,これらに化学種の強度を得るための線形方程式の系の構築,それらの解法,解の評価および要求される際の正則化手順の実効を含んだ。これらの段階を総括的に記述し,D9鋼から得られたそれらのSIMS質量スペクトルに関する適用の成績を提示した。スパッタリングクラスタの全領域をカバーする総和法手順からの成績は,元素当たりで単一のCs複合体からの成績よりも優れていることが分かった。SS316LN鋼試験片からの質量スペクトルの解法での正則化過程を操作した成績から,正則化が必要であることが分かった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,  フィンガープリント法 ,  *質量スペクトル ,  *セシウム合金 ,  *複合体 ,  *イオン ,  側面 ,  同定 ,  質量分析 ,  同位体 ,  豊度 ,  化学種 ,  強度 ,  一次方程式 ,  解法 ,  解 ,  *正則化 ,  スパッタリング ,  クラスタ ,  総和法 ,  試験片 ,  *ディジタル方式 ,  数値
準シソーラス用語： 質量スペクトル分析 ,  線形方程式 ,  *定量化

分類 (3件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  質量分析  (CC03013N) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

タイトルに関連する用語 (3件)： 二次イオン質量分析 ,  質量スペクトル分析 ,  定量化