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J-GLOBAL ID：201502209539994901   整理番号：15A0876624

四重極質量分析法により小さい封入体積内のガス組成決定における究極の限界

Ultimate limits in the gas composition determination within small sealed volumes by quadrupole mass spectrometry

著者 (3件)： NEMANIC Vincenc (Jozef Stefan Inst., Jamova cesta 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  ZUMER Marko (Jozef Stefan Inst., Jamova cesta 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  LAKNER Mitja (Univ. of Ljubljana, Fac. of Civil and Geodetic Engineering, Jamova cesta 2, 1000 Ljubljana, SVN)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 119  ページ： 112-118  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最新の封入真空装置の小型化とそれらの安定に作動させる高度の要求により,それらの作動の初期段階と長い作動周期後にガス組成を正確に決定することが必要となる。いくつか高度に敏感なガス方法の中で,ガス量が1・10^-4mbarLより十分下であるこの課題には四重極質量分析法と最も適した方法と考えられる。本論文では,少ないガス量のルーチン定量分析を行う四重極質量分析計をどのように調製するか新しい方法について述べる。第1段階では,これは,3種類の異なるガス:窒素,アルゴン,ネオンを使った革新的なその場手続きによりキャリブレートした。各ガスは,容量圧力計を備えた正確に決定した体積の容器内へ入れた。可変リークバルブを開いて,イオン電流対流量依存性を3桁の大きさにわたって決定した。非常に低い流量では非線形応答を検出した。次に段階で,3・10^-5mbarLから6・10^-7mbar Lのガス量の純粋アルゴンを入れ,非線形性を数値補正すれば,実現するガス量決定の精度は大きく改善されることを証明した。合成混合ガスを分析すると,それどころか比較的悪い結果が得られた。混合ガスによる余分なキャリブレーションにより,アルゴンによって起こる強い干渉が明らかになった。これにより,窒素に対して装置の感度が,アルゴンの割合に依存して最高2.3の因子まで増大した。この効果を考慮すると,さらに補正を行えば,少量の混合ガス量における窒素割合の決定精度が大きく改善される。一般に,極めて少量のガス量を定量化するには,精度に影響するすべての寄与を注意深く分析することが必要となる。それはデータ点の数が制限され,装置作動の非線形モードに大部分記録されるためである。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *四重極質量分析 ,  *四重極質量分析計 ,  真空容器 ,  化学組成 ,  窒素 ,  アルゴン ,  ネオン ,  流量 ,  イオン電流 ,  キャリブレーション ,  混合気体
準シソーラス用語： *ガス組成

分類 (2件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 四重極質量分析 ,  封入 ,  体積 ,  ガス組成 ,  限界