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J-GLOBAL ID：201502209665516357   整理番号：15A1052426

環状円形ノズル付きマイクロ圧電アクチュエータを用いた液滴生成と気化冷却

Droplet generation and evaporative cooling using micro piezoelectric actuators with ring-surrounded circular nozzles

著者 (2件)： CHEN Chin-Tai (National Kaohsiung Univ. of Applied Sciences, Dep. of Mechanical Engineering, No. 415, Chien-Kung Road, 80778 ...) ,  WANG Hsun-You (National Kaohsiung Univ. of Applied Sciences, Dep. of Mechanical Engineering, No. 415, Chien-Kung Road, 80778 ...)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 21  号： 10  ページ： 2067-2075  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,筆者らは,液滴生成と気化冷却を目的とした単純なマイクロ圧電アクチュエータについてレポートした。アクチュエータのために主にフォトリソグラフィ法に基づく微細加工とパケージングの単純な設計について,ここで述べた。特に,冷却性能に及ぼすノズルの形状の影響を調査するために,一様な円形とリング状の取り囲んだ微細構造をもつ2つのタイプの金属ノズルプレートに,低価格のニッケルのマイクロ電鋳プロセスを採用した。この圧電アクチュエータを用いて,4.28~5.31ml/分の高い容積率(V_r)の水スプレーが,各々直径~30μmで作製された5×5アレイのノズルによりうまく生成した。さらに,冷却性能における実験結果は,~38.5°Cでスタートする-3.4°C/分の最大冷却率(C_r)が15×15×15cm³の空間内で達成されたことを示した。さらに,リング状の取り囲んだノズルから生じたV_rとC_rの値は一様な円形のものからのそれらよりも高く,それによりリング形状のマイクロチャネルにより生ずる’アンチスティクション’メカニズムを意味する。将来,低価格と高効率を特徴とするれらのアクチュエータには,エアコンおよび扇風機への集積化などの冷却用途が期待される。Copyright 2014 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 円環 ,  ノズル ,  MEMS ,  *マイクロアクチュエータ ,  アクチュエータ ,  *圧電素子 ,  液滴 ,  噴霧 ,  *蒸発冷却 ,  フォトリソグラフィー ,  実装 ,  電鋳 ,  噴霧機 ,  *冷却器
準シソーラス用語： 圧電アクチュエータ ,  液滴生成 ,  *気化冷却 ,  噴霧化

分類 (2件)： 熱交換器,冷却器  (PA03020G) ,  化学装置一般  (XB01010S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 環状 ,  円形 ,  圧電アクチュエータ ,  液滴生成 ,  気化冷却