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J-GLOBAL ID：201502209731395990   整理番号：15A0762274

脆性材料のレーザ加工(2)脆性機能性材料(ニオブ酸リチウム)のピコ秒レーザ微細加工技術

著者 (5件)： 小貫哲平 (茨城大 工) ,  清水淳 (茨城大 工) ,  山本武幸 (茨城大 工) ,  尾嶌裕隆 (茨城大 工) ,  ZHOU Libo (茨城大 工)
資料名： レーザ加工学会誌  (Journal of Japan Laser Processing Society)
巻： 22  号： 2  ページ： 98-103  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： L3905A  ISSN： 1881-6797  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： LiNbO₃のような脆性機能材料のMEMSセンサ利用の促進を目指して,レーザ微細加工における高加工面品位が得られる加工条件と,その物理的機構との関係について調べた。また,脆性損傷個所の修復,修復部位や接合部位の機能回復(強誘電相)などを目標として脆性材料のレーザ付加加工技術について述べた。材料特性と,過渡的現象の測定と,加工実験による加工痕観測とから調査を進め,照射条件による加工面性状の変化の起源を明示した。パルス間隔の放熱期間のため照射スポット強度を抑えて照射数でフルエンスを稼いだ条件で高品位加工面が得られた。(著者抄録)

シソーラス用語： 脆性材料 ,  *微細加工 ,  *レーザ加工 ,  *ニオブ酸リチウム ,  パルスレーザ ,  ピコ秒 ,  MEMS ,  加工面 ,  表面性状 ,  加工条件 ,  フルエンス ,  熱放射 ,  レーザ照射 ,  強誘電体 ,  機能材料

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (23件)：

• 日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会: 弾性波デバイス技術, オーム社, (2004).
• 日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会: 弾性波素子技術ハンドブック, オーム社, (1991).
• Yeh, P.: Introduction to Photorefractive Nonlinear Optics, Wiley-Interscience, (1993).
• Sano, T., Onuki, T., Hamate, Y., Hojo, M., Nagasawa, S. and Kuwano, H.: Micro Blender and Separator using Inner-vortex of Droplet Induced by Surface Acoustic Wave, IEEE Proc. of Transducers 2009, (2009), 370-373.
• Miyashita, M., Onuki, T., Nagasawa, S. and Kuwano, H.: A Surface Acoustic Wave Dynamics Control Device by Grating Structure, IEEE Proc. of MEMS2008, (2008), 661-664.

タイトルに関連する用語 (7件)： 脆性材料 ,  レーザ加工 ,  脆性 ,  機能性材料 ,  ニオブ酸リチウム ,  ピコ秒レーザ ,  微細加工技術