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J-GLOBAL ID：201502209876570358   整理番号：15A1172292

エタノールセンサのための透明導電性FeドープCdO薄膜の化学噴霧熱分解堆積

Chemical spray pyrolysis deposition of transparent and conducting Fe doped CdO thin films for ethanol sensor

著者 (4件)： SANKARASUBRAMANIAN K. (School of Physics, Madurai Kamaraj Univ., Madurai 625021, Tamil Nadu, IND) ,  SOUNDARRAJAN P. (School of Physics, Madurai Kamaraj Univ., Madurai 625021, Tamil Nadu, IND) ,  SETHURAMAN K. (School of Physics, Madurai Kamaraj Univ., Madurai 625021, Tamil Nadu, IND) ,  RAMAMURTHI K. (Dep. of Physics & Nanotechnology, SRM Univ., Chennai 603203, Tamil Nadu, IND)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 40  ページ： 879-884  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 簡単な化学噴霧熱分解法を用いて,透明導電性酸化カドミウム(CdO)及びFeドープ(0.5,1,1.5及び2重量%)CdO薄膜をガラス基板上に堆積した。CdO薄膜の構造,モフォロジー,光学及び電気特性に及ぼすFeドーピングの影響を,それぞれ,X線回折(XRD),原子間力顕微鏡(AFM),紫外可視透過率及びHall測定のような種々の特性評価技術を用いて系統的に調べた。XRDパターンから,アンドープ及びFeドープCdO膜は,立方晶結晶構造と共に多結晶性であることが明確に明らかになる。AFM画像から,CdO薄膜の表面粗さは,Feドーピング濃度と共に減少することが分る。1重量% FeドープCdO膜の表面構造をX線光電子分光法(XPS)によって調べた。CdO薄膜の光透過率は,Feドーピング濃度の増加と共に減少する。CdO薄膜の光学バンドギャップ値は,Feドーピング濃度の増加に伴って2.61から2.18eVに減少する。Hall測定から,抵抗率の最小値(7.67×10^-4Ωcm)が,1重量% FeドープCdO薄膜で得られる。最後に,エタノールセンサ動作を自作センサユニットを用いて観察した。56.12%の最大エタノールガス応答が,1重量% FeドープCdO薄膜で観察される。この結果から,FeドープCdOが,センサ応用において有望な材料の一つであるが示唆される。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化カドミウム ,  鉄 ,  ドーピング ,  *噴霧法 ,  熱分解 ,  *化学センサ ,  脂肪族アルコール ,  透明材料 ,  導電性 ,  X線回折 ,  原子間力顕微鏡 ,  X線光電子分光法 ,  光透過 ,  Hall効果 ,  立方晶系 ,  多結晶 ,  表面粗さ ,  光学ギャップ
準シソーラス用語： エタノールセンサ ,  噴霧熱分解

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (9件)： エタノールセンサ ,  導電性 ,  Fe ,  ドープ ,  CdO ,  薄膜 ,  化学 ,  噴霧熱分解 ,  堆積