文献

J-GLOBAL ID：201502210006085036   整理番号：15A0322310

マイクロナノバブル水分散フリーダイヤモンド研摩材でのぜい性材料の正確な機械研摩

Precise mechanical polishing of brittle materials with free diamond abrasives dispersed in micro-nano-bubble water

著者 (10件)： AIDA Hideo (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 3-8-22 Shinden, Adachi-ku, Tokyo 123-8511, JPN) ,  AIDA Hideo (Kastec, Kyushu Univ., Kasuga-shi, Fukuoka 816-8580, JPN) ,  KIM Seong-Woo (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 3-8-22 Shinden, Adachi-ku, Tokyo 123-8511, JPN) ,  IKEJIRI Kenjiro (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 3-8-22 Shinden, Adachi-ku, Tokyo 123-8511, JPN) ,  DOI Toshiro (Kastec, Kyushu Univ., Kasuga-shi, Fukuoka 816-8580, JPN) ,  YAMAZAKI Tsutomu (Kastec, Kyushu Univ., Kasuga-shi, Fukuoka 816-8580, JPN) ,  SESHIMO Kiyoshi (Kastec, Kyushu Univ., Kasuga-shi, Fukuoka 816-8580, JPN) ,  KOYAMA Koji (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 3-8-22 Shinden, Adachi-ku, Tokyo 123-8511, JPN) ,  TAKEDA Hidetoshi (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 3-8-22 Shinden, Adachi-ku, Tokyo 123-8511, JPN) ,  AOTA Natsuko (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 3-8-22 Shinden, Adachi-ku, Tokyo 123-8511, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 40  ページ： 81-86  発行年： 2015年04月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 溶液としてマイクロナノバブル(MNB水)を含む水の使用の影響を研究した。ここでは,0.5μmの平均直径のダイヤモンドの研摩材が,GaN膜のぜい性材料の正確な機械研摩(PMP)に使用される研磨スラリーのために分散される。MNB水において,研摩材の少ない数のクラスタの生成が見られたが,研摩材は,基本的によく分散された。エチレングリコールなどの分散エージェントでの純水の中におけるそれにほとんど匹敵していた。凝集が純水の中の分散に関して分散エージェントの追加なしで観測されたので,MNBsにはマイクロ研摩粒子のための分散効果があるのがわかった。MNB水ベースの研磨スラリーでのGaN基板の研磨特性に関して,追加表面も表面下劣化もなしに,除去率の顕著な増加が観測された。さらに,GaN基板の化学的に弱いN表面に関してかなり減少したサブ表面損傷(SSD)を観測した。これらの観測された影響は,最もたぶん,MNB水におけるクラスタ形成の結果と気泡崩壊による高いエネルギー発生と関連した化学的効果であることを,それぞれ示唆された。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 研磨 ,  ダイヤモンド ,  砥粒 ,  分散【dispersion】 ,  気泡 ,  スラリー ,  比率 ,  *窒化ガリウム ,  *ダイヤモンド砥粒 ,  *機械研磨 ,  材料除去率 ,  水分散 ,  ウルトラファインバブル ,  機械工作 ,  鉱石 ,  宝石
準シソーラス用語： GaN ,  ナノバブル

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロ ,  ナノバブル ,  水分散 ,  ダイヤモンド ,  研摩材 ,  ぜい性材料 ,  機械研摩