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J-GLOBAL ID：201502210105279307   整理番号：15A1079299

バナジウム-ステンレス鋼同時スパッタ膜の熱酸化による高性能サーモクロミック二酸化バナジウム薄膜の新しい調製法

The novel preparation method of high-performance thermochromic vanadium dioxide thin films by thermal oxidation of vanadium-stainless steel co-sputtered films

著者 (5件)： YANG Thomas C.-K. (Dep. of Chemical Engineering and Biotechnology, National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106, Taiwan) ,  YANG Yue-Lin (Dep. of Chemical Engineering and Biotechnology, National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106, Taiwan) ,  JUANG Rei-Cheng (Green Energy and Environmental Laboratories, Industrial Technol. Res. Inst., Hsinchu 300, Taiwan) ,  CHIU Te-Wei (Dep. of Material and Mineral Resources Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106, Taiwan) ,  CHEN Chien-Chung (Graduate Inst. of Biomedical Materials and Engineering, Taipei Medical Univ., Taipei, Taiwan)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 121  ページ： 310-316  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高性能のサーモクロミックな二酸化バナジウムの調製とそのバッチからバッチで一様性が保証されることは,バナジウムの酸化数が,高温の様々な還元あるいは酸化雰囲気下で+2から+5まで変化することから,技術的に難しい。本研究では,二酸化バナジウム膜を,雰囲気中,高温で同時スパッタしたバナジウムとステンレス鋼(主にFe,Cr,Niを含む)の熱酸化によって作成した。調製したままの酸化バナジウム膜はさらに4端子測定,偏光解析法,すれすれ入射X線回折(XRD),及びX線光電子分光法(XPS)分析により評価を評価した。著者らの実験結果から,SSターゲットを使うと,安定なプラズマ条件でバナジウム膜中へ磁性原子(鉄とニッケル)元素と非磁性クロム元素を効率良く堆積できた。XRDパターンの主ピークの小角度へシフトし,酸化バナジウム膜中へFe,Cr,及びNi元素がドープすることに成功したことが実証された。これらドーパントは,熱処理中の過酸化からバナジウム原子を抑制する。その結果,SSターゲット電圧の上昇に伴った調製したままの膜から,多量のVO₂(M)結晶相(高いV₍₊₄₎/V₍₊₅₎比)が得られた。結論として,V₆O₁₃,V₃O₇,及びV₂O₅酸化バナジウム結晶の形成は,熱酸化段階後,著しく低下し,サーモクロミック応答特性を見せる調製したままの膜が生じる。提案した方式は,バッチからバッチへと一様性が保証される高性能のサーモクロミック二酸化バナジウム膜を調製する新しい作成法となることが証明された。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *サーモクロミズム ,  光学的性質 ,  スパッタリング ,  バナジウム ,  ステンレス鋼 ,  *熱酸化 ,  *酸化バナジウム ,  原子価 ,  偏光解析法 ,  X線回折 ,  ドーピング ,  X線光電子スペクトル
準シソーラス用語： すれすれ入射X線回折 ,  二酸化バナジウム ,  *同時スパッタリング

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の光学的効果  (BM08040H)

タイトルに関連する用語 (7件)： バナジウム ,  ステンレス鋼 ,  スパッタ膜 ,  熱酸化 ,  酸化バナジウム ,  薄膜 ,  調製法