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J-GLOBAL ID：201502210145529888   整理番号：15A0971977

先進的インダクタとキャパシタを備えた極薄極小な3D両面ガラスパワーモジュール

Ultra-thin and Ultra-small 3D Double-side Glass Power Modules with Advanced Inductors and Capacitors

著者 (9件)： GANDHI Saumya (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  RAJ P. Markondeya (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  CHOU Bruce C. (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  CHAKRABORTI Parthasarathi (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  KIM Min Suk (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  SITARAMAN Srikrishna (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  SHARMA Himani (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  SUNDARAM Venky (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  TUMMALA Rao (Georgia Inst. of Technol., GA)
資料名： Proceedings. Electronic Components & Technology Conference  (Proceedings. Electronic Components & Technology Conference)
巻： 65th Vol.1  ページ： 230-235  発行年： 2015年 
JST資料番号： H0393A  ISSN： 0569-5503  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 先進的な3D集積受動および能動部品を備えた極小,高性能かつ低コストな3D機能モジュールに関して論じた。3D集積受動および能動部品(3DIPAC)構造のパワー・インダクタおよびキャパシタの電気的モデリングと設計,LおよびC部品のブロック形成と集積モジュールのアセンブリおよび電気的特性評価を述べた。提唱した3DIPACは極薄低損失ガラス(30~100μm),低コストなスルー・パッケージ・ビア(TPV),両面配線層,受動および能動部品から構成される。酸化タンタルにより形成されたキャパシタはリーク電流が非常に低く(<1nA/nF@3V),また高い収率(>90%)を示した。キャパシタンス密度は陽極酸化電圧8Vにて3.3nF/mm²が達成された。空心インダクタは80nHであり,100MHzでのQファクタは35以上であった。3DIPACは小型で低コストな部品として有望である。

シソーラス用語： *回路モジュール ,  *インダクタ ,  *コンデンサ ,  バイアホール ,  高密度実装 ,  *多層配線 ,  *酸化タンタル ,  漏れ電流 ,  Q値 ,  基板 ,  集積回路
準シソーラス用語： *3D集積化 ,  *ガラス基板 ,  *パワーモジュール ,  受動部品 ,  集積回路実装 ,  能動部品

分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (7件)： インダクタ ,  キャパシタ ,  極 ,  3D ,  両面 ,  ガラス ,  パワーモジュール