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J-GLOBAL ID：201502210145894756   整理番号：15A1399371

湿式化学過程により処理した溶融石英光学のレーザ誘起損傷特性

Laser induced damage characteristics of fused silica optics treated by wet chemical processes

著者 (7件)： YE Hui (School of Mechanical & Electrical Engineering, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  YE Hui (Fine Optical Engineering Res. Center, Chengdu 610041, CHN) ,  LI Yaguo (Fine Optical Engineering Res. Center, Chengdu 610041, CHN) ,  YUAN Zhigang (Fine Optical Engineering Res. Center, Chengdu 610041, CHN) ,  WANG Jian (Fine Optical Engineering Res. Center, Chengdu 610041, CHN) ,  YANG Wei (School of Mechanical & Electrical Engineering, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  XU Qiao (Res. Center of Laser Fusion, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 357  号： PA  ページ： 498-505  発行年： 2015年12月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 溶融石英に対するレーザ損傷は高パワー高エネルギーレーザ系の主な問題点のままである。HFに基づくエッチング法はUVレーザ照射のもとでのレーザ損傷の開始と成長を緩和することが知られている。本論文では,材料の表面特性,特に様々なエッチングパラメータに対する表面損傷特性を再検討した。溶融石英をHFベースのエッチング液(種々の濃度のHF,NH₄F:HF,HF:HNO₃)に浸し,レーザ誘起損傷閾値(LIDT)を改善することを試みた。LIDTはエッチング厚とエッチング液組成に大きく依存することを示す結果を得た。二次イオン質量分光(SIMS)試験を行い,LIDTをある金属汚染と関係付けようとしたが,Ce,La,Ca,Fe汚染とLIDTとの直接的な相関関係は弱いことが分かった。最大のLIDTをもつ表面はたいてい,表面粗さが10nm RMS以下で,金属不純物がほとんど存在しないような場合であった。更に,LIDTを溶融石英の硬度とYoung率と関係付けようとしたが,LIDTが硬度とYoung率に直接依存することを示す試験データは得られなかった。実際に,硬度とYoung率は除去した厚さに無関係であった。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *石英ガラス ,  閾値 ,  エッチング液 ,  二次イオン質量分析 ,  表面粗さ ,  硬度 ,  Young率 ,  *レーザ損傷
準シソーラス用語： 溶融石英 ,  *レーザ損傷閾値 ,  表面損傷 ,  二次イオン質量分光分析

分類 (1件)： その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 化学過程 ,  溶融石英 ,  光学 ,  レーザ誘起損傷