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J-GLOBAL ID：201502210157628865   整理番号：15A1038559

スパッタ蒸着したNb_x-CoCrCuFeNi高エントロピー合金薄膜の構造形成と特性

Structure formation and properties of sputter deposited Nb_x-CoCrCuFeNi high entropy alloy thin films

著者 (2件)： BRAECKMAN B.R. (Res. group DRAFT, Dep. of Solid State Sciences, Ghent Univ., Krijgslaan 281 (S1), 9000 Gent, BEL) ,  DEPLA D. (Res. group DRAFT, Dep. of Solid State Sciences, Ghent Univ., Krijgslaan 281 (S1), 9000 Gent, BEL)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 646  ページ： 810-815  発行年： 2015年10月15日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なるニオブ濃度の高エントロピー合金Nb_x-CoCrCuFeNiの薄膜をマグネトロンスパッタリングによって蒸着した。ニオブを含まない(x=0)薄膜の膜密度及び残留応力は,より高い圧力-距離の製品では明らかに減少した。この現象はスパッタ原子の運動量移動によってだけ説明することができ,到着原子当たりのエネルギーとしての成長膜上の反射Ar原子は殆ど変化を示さなかった。合金中の最も重い原子であるNbの添加は,この効果を増幅した。したがって,高Nb含有量の薄膜が依然として大きな圧力-距離の製品で高い密度を示した。しかし,Nbが全ての構成元素の中で最大の半径を有するので,薄膜の結晶学的構造はx=0での結晶面心立方構造から,Nbの高い場合には,非晶質(又はナノ結晶)構造に変化した。変化する蒸着条件およびニオブ含有量という両方の傾向は,薄膜の微小歪の研究によって概説できた。固有の特性で観察された傾向は,いくつかの機能的特性(摩擦係数,熱安定性及び接触抵抗)の予備的研究と相関している。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： エントロピー ,  *薄膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  ニオブ添加合金 ,  ニオブ合金 ,  銅合金 ,  銅含有合金 ,  コバルト含有合金 ,  クロム含有合金 ,  鉄含有合金 ,  ニッケル含有合金 ,  FCC金属 ,  マグネトロンスパッタリング ,  摩擦係数 ,  接触抵抗 ,  熱安定性 ,  添加物効果
準シソーラス用語： *高エントロピー合金

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： スパッタ蒸着 ,  高エントロピー合金 ,  薄膜 ,  構造形成