文献

J-GLOBAL ID：201502210251346660   整理番号：15A1155160

固定研磨パッドを用いたラッピングスピネル中のトリエタノールアミンの影響【Powered by NICT】

Effect of triethanolamine in lapping spinel using fixed abrasive pad

著者 (4件)： Wang Zhankui (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Zhu Yongwei (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Zhu Lin (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Wang Jianbin (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 23  号： 4  ページ： 1034-1043  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 固定砥粒パッドを用いたラッピングスピネルウエハ中のトリエタノールアミンの作用機序を検討した,一連の実験を行った。,トリエタノールアミン溶液と脱イオン水に浸漬したスピネルウエハの硬度を測定するために行ったマイクロインデンテーション実験。X線光電子分光法(XPS)は,トリエタノールアミンの化学機構を解析し,深さの増加をエッチングとウエハの表面層に及ぼす化学組成の変化を研究するために採用した。さらに,トリエタノールアミン溶液と脱イオン水の影響を受けた軟化層の厚さを推定した。最後に,材料除去速度と表面品質に及ぼすトリエタノールアミン溶液と脱イオン水の影響を固定砥粒パッドを用いたラッピング実験により検討した。実験結果は,表面層の微小硬さが低下すると軟化した層はスピネルウエハ上にトリエタノールアミン溶液の化学効果のために形成されることを示した。トリエタノールアミン溶液と脱イオン水の軟化層の形成は,CO2とOH-の化学反応に起因し,トリエタノールアミン溶液中の軟化層の厚さは2nmであるが,脱イオン水では0.65nm以下であった。しかし,トリエタノールアミン溶液によるラッピングにおける材料除去速度は脱イオン水のそれよりも高かったが,上記のように条件における表面品質は脱イオン水のそれよりも劣っていた。トリエタノールアミン溶液の化学的影響は材料除去速度を大きく高めることができることを結論した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 化学反応 ,  表層 ,  脱イオン水 ,  *ラッピング ,  化学組成 ,  微小硬さ ,  反応機構 ,  *パッド ,  硬度 ,  ウエハ【IC】 ,  表面性状 ,  脂肪族アミン ,  脂肪族アルコール ,  アミノアルコール ,  第三アミン
準シソーラス用語： 材料除去 ,  固定砥粒 ,  研磨パッド , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

物質索引 (1件)： トリエタノールアミン

タイトルに関連する用語 (2件)： 研磨パッド ,  トリエタノールアミン