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J-GLOBAL ID：201502210301364354   整理番号：15A0714814

MEMS加速度計のヒステリシスの実験的研究:論評

Experimental Studies of Hysteresis in MEMS Accelerometers: A Commentary

著者 (1件)： LUCZAK Sergiusz (Warsaw Univ. Technol., Warsaw, POL)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 6  ページ： 3492-3499  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,Angらの論文に関連して,微小電気機械システム(MEMS)加速度計のヒステリシス決定を論評した。原論文で報告されたMEMS加速度計ヒステリシスによる誤差は過大評価されており,観測された現象は,不適切な試験方法と不適当な計装によることを立証した。ここでは,Angらのものと似た試験装置の回転部分のヒステリシスと回転部分で生じる振動を測定したのち,手動の適切な精密試験リグを提案し,それによる測定結果を報告し,MEMS加速度計ヒステリシスの影響は小さいことを証明した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *加速度計 ,  *ヒステリシス ,  *実験 ,  試験装置 ,  実験装置 ,  光ヘッド ,  駆動
準シソーラス用語： テストリグ ,  光駆動

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  加速度計 ,  ヒステリシス ,  実験的研究