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J-GLOBAL ID：201502210310967917   整理番号：15A1165020

超小型力センサ技術の概観

An overview of micro-force sensing techniques

著者 (2件)： WEI Yuzhang (Dep. of Electromechanical Engineering, Fac. of Sci. and Technol., Univ. of Macau, Avenida da Universidade, Tapia ...) ,  XU Qingsong (Dep. of Electromechanical Engineering, Fac. of Sci. and Technol., Univ. of Macau, Avenida da Universidade, Tapia ...)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 234  ページ： 359-374  発行年： 2015年10月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 装置の小型化の動向のため,超小型操作はこの20年で注目の話題となった。マクロの世界と異なり,ミクロの物体は接触する力を高信頼で検出し制御しないと簡単に破壊する。したがって,超小型操作,超小型組み立て,医療応用,生体医学応用,材料科学,寸法測定,MEMS/NEMSによる超小型部品と超小型つかみ治具の損傷からの保護,超小型操作プロセスの成功の保証,において力センサが非常に重要である。作動原理,検出精度,7つの広く使用された力センシング法の利点と欠点を提出した。超小型組み立てと超小型操作における各方法の代表的な応用を議論した。異なる種類の力センシング方法の比較を行った。特別な部品の測定に限定され,広く使用されていないが,別の5つの超小型力センシングの方法を簡単に紹介した。更に,2つの人気のある種類の商用の超小型力センサを取り上げ,特定用途に対する選択の指針を提供した。提出した最先端の概観は力センシング分野に従事する人たちが最近の開発と研究動向を知る助けとなる。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *センサ ,  *技術展望 ,  組立 ,  利用 ,  計測 ,  操作 ,  材料科学 ,  原理
準シソーラス用語： 医療応用 ,  *技術的概観 ,  作動原理 ,  寸法測定 ,  生体医学応用 ,  *超小型センサ ,  *力センサ

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (1件)： 力センサ